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研究了不同气氛下快速预热处理(RTA)后,硅片中的流动图形缺陷(FPDs)密度和随后两步热处理形成的魔幻清洁区(MDZ)之间的关系.硅片经过高温快速预热处理后,再经过800℃(4h)+1000℃(16h)常规退火,以形成MDZ.研究发现,当硅片在Ar气氛或N2/O2(9%)混合气氛下RTA预处理后,FPDs密度较低,随后热处理出现的氧沉淀诱生缺陷密度较高、清洁区较宽.对于N2/O2混和气氛,随着O2含量的增加,FPDs和氧沉淀诱生缺陷密度变小,纯O2气氛下预处理后硅片中FPDs和氧沉淀诱生缺陷密度最低.因此,可以通过调节N2/O2混合气氛中两种气氛的比例来控制空洞型微缺陷和硅片体内氧沉淀诱生缺陷的密度. 相似文献
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本文总结了EDA技术改造"电子学"课程的实践教学环节工作思路,通过搭建学生自主学习平台夯实理论知识和EDA基础知识,通过案例教学和网络学习平台激发学习兴趣、培养自学能力,教学中应用EDA技术引入实际工程培养学生研究能力,以课外科技问题研究实现创新意识的培养,实践教学改革收到了预期效果。 相似文献
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A fully integrated low-power, low-complexity ultra wideband (UWB) 3–10 GHz receiver front-end in standard 130 nm CMOS technology is proposed for UWB radar sensing applications. The receiver front-end consists of a full UWB band low-noise amplifier and an on-chip diplexer. The on-chip diplexer has a 1 dB insertion loss and provides a \(-\) 30 dB isolation. The diplexer switch was co-designed with the receiver input matching network to optimize the power matching while simultaneously achieving good noise matching performance. The receiver low-noise amplifier provides a 3–10 GHz bandwidth input matching and a power gain of 17 dB. The overall receiver front-end consumes an average power of 13 mW. The core area of the transceiver circuit is 500 \(\mu \) m by 700 \(\mu \) m. 相似文献
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Zhan Teng Zhang Yang Li Jing Ma Jun Liu Zhiqiang Yi Xiaoyan Wang Guohong Li Jinmin 《半导体学报》2013,34(9):094010-4
We report a new monolithic structure of GaN-based light-emitting diode(LED) which can be operated under high voltage or alternative current. Differing from the conventional single LED chip, the monolithic lightemitting diode(MLED) array contains microchips which are interconnected in series or parallel. The key chip fabrication processing methods of the monolithic LED array include deep dry etching, sidewall insulated protection, and electrode interconnection. A 12 V GaN-based blue high voltage light emitting diode was designed and fabricated in our experiment. The forward current-voltage characteristics of MLEDs were consistent with those of conventional single junction light emitting diodes. 相似文献
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缝洞型碳酸盐岩油藏以大型溶洞、溶蚀孔洞及裂缝为主要储集渗流空间,连通方式复杂,非均质性强。CO_2吞吐及CO_2驱替可通过补充地层能量及溶解降粘作用来改善油田开发效果,是一种有效的开发方式。根据现场地质资料,设计并制作室内三维仿真物理模型以模拟典型缝洞油藏单元,通过室内实验模拟CO_2吞吐及CO_2驱替过程,分析生产动态,考察高、低部位井CO_2吞吐的增产效果,并对比高、低部位井CO_2吞吐与驱替对采出程度的影响,在此基础上分析缝洞型碳酸盐岩油藏注气替油机理。实验结果表明:利用底水与次生气顶间的相互作用及井位优势,高部位井CO_2吞吐比低部位井CO_2吞吐采收率高16.09%;利用吞吐与驱替过程中不同的气体控制范围,高、低部位井CO_2吞吐采收率比CO_2驱替采收率分别高8.07%和5.01%,CO_2吞吐效果优于CO_2驱替效果。 相似文献