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本文讨论了用辉光放电法制备氮化硅薄膜时衬底温度、射频功率和气体流量比对薄膜的电导率、介电常数和击穿强度的影响。通过优化生长条件,制备了优质非晶氮化硅薄膜,其介电常数为7.5、击穿强度为5.5MV/cm、电导率为10-13(Ωcm)-1。 相似文献
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V. Ya. Malikov P. E. Stadnik O. Ts. Sidletskiy L. N. Lisetskiy S. V. Budakovskiy N. Z. Galunov 《Instruments and Experimental Techniques》2002,45(4):576-578
The device developed allows one to measure the dielectric characteristics of solid substances and their melts at frequencies of 20–20000 Hz and in a wide temperature range of 20–250°C. The measured temperature dependencies of the dielectric permittivities of several molecular and liquid crystals (stilbene, diphenyl, naphthalene, cholesterylpelargonate, and 8OCB) are presented. 相似文献
35.
An analysis is made of the fluid flows in a plane slot permeable channel. It is shown that for large numbers R (suction) self-similar solutions exist.Translated from Inzhenerno-Fizicheskii Zhurnal, Vol. 49, No. 3, pp. 432–436, September, 1985. 相似文献
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37.
We formulate the inverse problem of scattering of electromagnetic fields by thin defects and analyze numerical algorithms used for its solution. It is shown that, in the two-dimensional case, the shape of a thin defect is completely determined by the scattered field given on a certain curve for a fixed value of the wave number. For the solution of the inverse scattering problem, we propose to use the procedure of iterative regularization based on the gradient methods. We deduce expressions for the Fréchet derivative of the operator of direct scattering problem with Dirichlet conditions imposed on the surface of a scatterer. 相似文献
38.
O. Ya. Shmelev 《Measurement Techniques》1994,37(2):205-208
A measurement and computing system designed for acoustical investigations of liquid crystals, magnetic fluids, etc., in the frequency range 0.15–1.2 MHz is described.Translated from Izmeritel'naya Tekhnika, No. 2, pp. 51–53, February, 1994. 相似文献
39.
Shaofeng Wang Yuan Hu Zhihua Lin Zhou Gui Zhengzhou Wang Zuyao Chen Weicheng Fan 《Polymer International》2003,52(6):1045-1049
Acrylonitrile–butadiene–styrene (ABS)/montmorillonite nanocomposites have been prepared using a direct melt intercalation technique by blending ABS and organophilic clay of two different particle sizes: OMTa (5 µm) and OMTb (38 µm). Their structure and flammability properties were characterized by X‐ray diffraction, high resolution electronic microscopy (HREM), thermogravimetric analysis (TGA) and cone calorimeter experiments. The results of HREM showed that ABS/5 wt% OMTa nanocomposite was a kind of intercalated–delaminated structure, while ABS/5 wt% OMTb nanocomposite was mainly an intercalated structure. The nanocomposites showed a lower heat release rate peak and higher thermal stability than the original ABS by TGA and cone calorimeter experiments. Also, the intercalated nanocomposite was more effective than an exfoliated–intercalated nanocomposite in fire retardancy. Copyright © 2003 Society of Chemical Industry 相似文献
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