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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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根本技术创新产品需求的获取及评价研究 总被引:1,自引:0,他引:1
根本技术创新对企业的发展具有决定性的意义。并对工程作为现代产品开发中新发展的系统化方法,在应用其对根本技术创新产品需求搜集及评价时,出现了满足顾客需求和创造顾客需求、资源需求与技术创新、理性决策与非理性决策、企业文化与技术创新等之间的矛盾。本文对产生这些矛盾的原因进行了分析,提出了相应的解决办法。 相似文献
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巴基斯坦高摩赞水利枢纽综合项目大坝为曲线重力坝,采用RCC筑坝技术建筑。其砂石骨料为人工与天然混用,工艺设计新颖。砂石料生产设备采用国产设备,配置优化,系统采用集装箱式控制室,实现了系统自动化和集中控制。文章探讨了国产设备在巴基斯坦水电工程中的应用。 相似文献
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以Bi(NO3)3·5H2O和Ti(OC4H9)4为原料,NaOH为矿化剂,采用水热法制备了形貌规则的单晶Bi4Ti3O12纳米片。X射线衍射(XRD)结果表明,所合成的产物为正交相层状钙钛矿结构的Bi4Ti3O12。场发射扫描电子显微镜(FESEM)研究显示:样品是由大量边缘尺寸接近200nm,厚度约为15nm的片状结构组成。利用X射线光电子能谱(XPS)研究产物的化学组分和价态分布。室温拉曼光谱研究表明,Bi4Ti3O12纳米片的声子寿命和热稳定性低于相应的块体材料。 相似文献