微波等离子体CVD合成金刚石薄膜的生长特性

本文研究了微波等离子体合成金刚石薄膜的工艺参数对成核和生长过程的影响。讨论了表面过程机理,找出了较佳工艺条件,合成出直径为φ23毫米晶形完整、均匀致密的金刚石薄膜。     

壳聚糖凝胶材料固定葡萄糖氧化酶制电极的研究

以壳聚糖为载体研究凝胶法固定葡萄糖氧化酶制电极。试验研究了载体壳聚糖的降解性；交联剂戊二醛的浓度、用量；电极的载酶量等固定化条件对所组建的传感器性能的影响。通过影响规律的分析、优化固定化条件的研究，找出了根据壳聚糖溶液粘度适当调整交联剂成二醛的用量和铂丝在酶膜母液中浸涂时间，克服壳聚糖的降解性对酶电极性能的影响，建立了制备性能相近的GOD传感器的方法。     

等离子体刻蚀处理大面积金刚石薄膜

平整均匀的大面积金刚石膜是其在电子领域工业化应用的前提。采用微波等离子体化学气相沉积装置,分别用氢气、氮气加空气、氧气对大面积金刚石膜进行了等离子体处理,通过表面形貌和电阻率的均匀性表征金刚石膜的均匀性,用电阻率的大小表征绝缘性,并采用原子力显微镜测量膜的表面粗糙度。用氮气加空气处理后,金刚石膜的电阻率提高了5个数量级,达到了1013Ω.cm,更好地满足了电子器件对绝缘性的要求,且均匀性较好,表面粗糙度Ra为90 nm~111 nm,但平整性仍须改进。     

超声合成纳米含碳酸根羟基磷灰石粉体

以Ca（OH）2、H3PO4和CaCO3为原料，采用超声波辅助中和法快速制备了纳米含碳酸根羟基磷灰石。采用TEM、XRD、IR方法对CHA进行了表征，并研究了CHA的取代类型及其热稳定性。结果表明：超声加速合成的粉末为直径约20nm，长度约70nm的针状纳米B型碳酸根羟基磷灰石；煅烧温度对产物的相组成和CO3^2-的含量有显著影响，在700℃时，CHA稳定存在，CHA在1100℃以上分解成HA和CaO，并脱出部分CO2。超声辅助合成是一种快速制备热稳定纳米碳酸羟基磷灰石的有效方法。     

纳米金刚石薄膜涂覆Ti6Al4V合金的改性研究

采用微波等离子体化学气相沉积法,在医用钛合金上沉积金刚石薄膜,其晶粒尺寸40 nm左右,表面粗糙度Ra=39 nm.在SiC球为摩擦副的干摩擦实验中,2N载荷下运转10000转,摩擦系数在0.25左右,并且没有出现任何薄膜破裂或剥落.血液相容性评价显示,动态凝血时间和溶血率比钛合金基体均有较大的提高,接近热解碳膜(LTIC).     

日本金刚石薄膜研究发展动态

一、前言早在1956年低温低压合成金刚石就由苏联科学院物理化学研究所的Spitsyn和Derjaguin开始研究.1958年美国联合碳化物公司的W.G.Eversole也通过实验从气相合成出金刚石.但直到八十年代在日本国立无机材质研究所才取得突破性的进展.由此金刚石薄膜的研究成了世界各工业发达国家竞相研究的热门课题.特别是近几年来世界继"高温超导热"之后,形成了"金刚石薄膜热".日本科技界     

微波等离子体烧结制备多孔纳米CHA/β-TCP 双相生物陶瓷

为了提高钙磷陶瓷材料性能,以含碳酸化羟基磷灰石纳米粉体(CHA)为原料,采用含水蒸汽CO2微波等离子体快速烧结新技术阻止CHA分解和实现多孔CHA /β-TCP双相生物陶瓷的纳米化.在优化工艺条件下,制得平均晶粒尺寸为92 nm,气孔率为55.9%,CO32-含量约为4%,压缩强度为13.7 MPa的多孔纳米TCP/CHA双相生物陶瓷.与常规马弗炉烧结相比,微波等离子体烧结时间缩短,烧结温度降低,能有效阻止CHA分解,提高烧结效率.微波等离子体烧结是一种快速制备纳米生物陶瓷的有效方法.     

提高辐射剂量计用金刚石膜电学性能的研究

针对目前金刚石膜存在电阻率低,使辐射剂量计器件的信噪比不大、X光灵敏度较低的问题,采用优化的氧等离子体和氮等离子体对生成膜进行原位后处理.结果表明氧等离子体处理比氮等离子体更能有效的刻蚀石墨等非金刚石成分;处理后样品生成膜的电阻率可提高至少4个数量级;优化的等离子体处理工艺能提高金刚石膜对X射线的响应.