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矩形平面直流磁控溅射装置端部磁场分析 总被引:4,自引:0,他引:4
矩形平面直流磁控溅射装置在运行过程中,由于端部区域磁场弱于直道区域磁场,在靶表面对角线位置上容易出现反常刻蚀.通过对这种现象进行分析,该文对反常刻蚀的发生机理提出了新的观点,认为反常刻蚀的发生是由于电子由弱磁场区域向强磁场区域漂移的过程中,电子距靶表面的距离不能够随磁场变化而迅速改变,存在较长的过渡状态.进一步发现在磁体弯道区域沿圆周方向磁场分量的存在是导致弯道区域刻蚀跑道压缩以及跑道内侧刻蚀较快的重要因素.该文研究了不同的磁体初始设计结构对磁场的影响,通过对现有磁体磁场的三维计算分析,提出了磁场的改进原则,并对具体的磁场改进措施进行了研究.通过对现有不同磁场校正方法的比较,提出了一种应用铁块和永磁块对装置端部区域磁场进行校正的新方法.通过对改进后装置的磁场分布进行计算,该文提出的改进措施可以把沿跑道磁场的均匀度控制在5%左右,并且可以削弱沿圆周方向的磁场分量. 相似文献
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将参数化绘图技术引入电磁场有限元建模中 ,设计人员只需建立一张参数化的图形 ,可方便快速地生成系列化有限元场域图形 ,进行不同设计方案的有限元分析。采用Petri网描述参数化的有限元场域模型 ,提出了基于Petri网的参数化推理方法 ,该方法具有基于图的参数化模型的优点 ,且与参数化实体建立顺序无关。基于Petri网的参数化模型解决了参数化设计中的循环约束判断问题。经实例表明 ,基于Petri网的参数化建模方法方便实用 ,它将成为电磁场有限元分析软件的一个重要功能。 相似文献
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螺线管线圈磁场的高精度计算方法及其比较 总被引:5,自引:0,他引:5
在某些场合,需要对螺线管线圈产生的磁场进行高精度计算。例如超导核磁共振成像磁体,要求在中心为0.35-0.5米的球径区域内产生的磁场,其不均匀度小于几个ppm,因此磁场的计算精度至少应不低于七位有效数字。 相似文献
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一、概述超导体的基本特性之一是当它处于超导态时具有理想导电性。它可以通过很大的电流而没有电阻损耗。因此,利用超导体可以产生强磁场和传输大电流。能源和电工装备的基本特点是大电流、强磁场和高电压。超导体的上述特性对能源和电工装备特别有利。总的说来,能源和电工装备中采用超导技术可以减少电气损耗,提高效率,缩小体积,减轻重量,降低成本,还可以提高装置的极限容量。早在超导技术应用研究的初期,超导技术在受控热核反应,磁流体发电,超导同步发电机,超导单极电机,超导电缆,超导变压器,超导电感储能 相似文献
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开关磁阻组合起动机/发电机设计及试验 总被引:14,自引:5,他引:9
开关磁阻发电机是一种与传统发电机有本质差异的新颖无刷直流发电机。针对磁阻电机、功率变换器和控制器彼此强耦合且气隙磁场剧烈往复变化、相绕组集励磁储能与续流发电双重功能等特征,提出了融电磁结构参数预估、相磁链空间数值分析及稳、动态性能仿真于一体的集成CAD方法,研制了4kW开关磁阻组合起动机/发电机并按照飞机供电标准进行稳态品质试验、突加突卸载及变速瞬态特性试验、组合起动/发电试验和容错发电试验,给出 相似文献
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单套定子绕组无刷双馈电机的绕组设计 总被引:16,自引:2,他引:14
提出了无刷双馈电机定子绕组的连接形式及其设计方法。当功率绕组与控制绕组为1套绕组时,该绕组在2种极数连接形式下各并联支路电压相等,不会在绕组中产生环流,提高了无刷双馈电机的运行效率。 相似文献