光刻机宏动试验运动平台设计及其减振系统仿真研究

根据光刻机的步进运动、同步扫描运动和自然振动的特点,设计了两种形式的宏动运动平台结构图和整个系统精密减振方法,并选用STACIS2000减振器作为系统的主动减振器。对ADAMS的求解原理进行了简单介绍并运用ADAMS仿真软件分别建立了两种结构对应的虚拟仿真模型,对减振系统分别无主动控制和有主动控制进行了仿真研究。结果表明,没有主动控制的结果不能满足光刻机的工作要求,采用主动控制比没有主动控制的效果要好并能满足工作要求。通过两种方案的结果对比分析,选择第二种结构方案作为本课题的设计方案。     

Micro scale design and experimental research of rolling interface

1　ＩＮＴＲＯＤＵＣＴＩＯＮＲｏｌｌｉｎｇｉｎｔｅｒｆａｃｅｉｓｏｆｃｏｍｐｌｉｃａｔｅｄａｎｄｓｅｎｓｉｔｉｖｅｌｉｎｋ ,ａｌｓｏｉｓｔｈｅｋｅｙｏｆｖａｒｉｏｕｓｐｒｏｂｌｅｍｅｘｉｓｔｉｎｇｉｎｒｏｌｌｉｎｇｓｙｓｔｅｍ .Ａｓｗｅｋｎｏｗ ,ａｌｏｔｏ     

光刻机掩模台宏动定位系统的控制器设计

为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机掩膜台宏动平台的控制问题,采用直线电机设计了高速、高精密步进扫描光刻机的掩模台模拟宏动定位系统,并建立了整个直线运动平台的数学模型。根据该系统的特点和模型,还设计了一种不完全微分PID+干扰观测器的控制方式。运用MATLAB软件进行仿真,结果表明,在具有相同的扰动下,仅采用普通PID控制,系统跟踪误差在±0.025 mm范围内变化,而采用该控制方式,系统跟踪误差在±0.015 mm的范围内变化,后者比前者具有更好的控制性能,因而可以使系统得到较好的抗干扰能力、跟踪性能和控制效果。     

智能装载机铲取过程动力学建模分析

通过对装载机工作装置的运动和受力分析，在广义坐标下，运用拉格朗日方程建立起轮式装载机在铲取过程中的动力学模型，即机构的运动微分方程，从而得到力与运动之间的关系，最后对该模型作了必要的分析。     

表面换热系数对铝厚板淬火温度和应力演变影响的数值模拟

淬火过程中表面换热系数是反映界面能量传递和介质冷却能力的重要物理参数。通过对铝厚板淬火的多组模拟实验，研究了表面换热系数对工件冷却速度、内应力演变的影响规律。结果表明，过大的表面换热系数并不能明显提高工件心部的冷却速度．却大大增加了工件的残余应力。铝厚板淬火工艺应用据工件的组织性能要求，合理选择的表面换热系数和冷却方式，尽量减小工件的残余应力。     

不同温度对热超声键合工艺连接强度的影响

在有规律地改变键合温度的条件下,分析不同温度对热超声键合工艺连接强度的影响规律,并研究温度因素对整个系统的PZT换能器输入功率及阻抗的影响。试验研究发现,温度过低（低于601℃）导致键合不成功或连接强度很低,温度过高（高于300℃）导致连接强度降低,最佳的键合窗口出现在200～240℃区间,此时连接强度达20g左右。对推荐使用的大于5．4g的连接强度标准,文中试验条件下可键合窗口为120～360℃。而且,对于恒定额定功率设置的PZT换能器系统,温度的改变导致PZT换能器实际加载的功率及阻抗的改变。这些试验现象和分析结果可作为整个键合系统工艺参数匹配及优化的依据。     

基于Nelder-Mead算法的插装阀AMESim仿真模型优化设计

详细分析二通插装阀的数学模型,建立其流量与进出口压差之间的关系,利用AMESim中的Hydraulic Component Design(HCD)库搭建二通插装阀的仿真模型。根据无导数的Nelder-Mead单纯形优化算法理论,借助Matlab对模型的结构参数进行优化。采用优化结果仿真得到的流量-压降特性曲线与期望特性曲线相当接近,验证了仿真模型的准确性和优化方法的有效性。     

X射线法测量淬火铝合金厚板表面残余应力

采用无损X射线衍射技术测试了7075铝合金厚板淬火后表面残余应力水平与分布,得到了淬火铝合金厚板表面残余应力的分布区间和一般规律,分析了准直管对测试结果的影响,并与中心钻孔法得到的结果做了比较。结果表明,两种方法都能有效并正确测量构件的表面残余应力,但中心钻孔法不适合用于应力梯度大的场合,而X射线法在无应力或原始应力水平很低的场合效果欠佳。淬火铝板表面残余应力的测试结果呈正态分布,且淬火过程中边缘局部有应力释放,释放值可达40%,且此区域大小约为铝板的一个厚度。     

基于AMESim的叠加式溢流阀故障仿真研究

工程中叠加式溢流阀常发生阻尼孔堵塞、弹簧失效或断裂等故障,为实现液压系统故障的在线监测与诊断,需对叠加式溢流阀进行性能分析。对叠加式溢流阀的数学模型进行了分析,基于AMESim中的Hydraulic Component Design(HCD)库搭建了其仿真模型,通过比较试验与仿真启闭特性曲线验证了仿真模型的正确性,研究了各种故障对叠加式溢流阀性能特性的影响。