特种微型机械加工技术

综述微型机电系统/微型机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状.相对硅微细加工和LIGA工艺,不采用掩膜版的特种微细加工技术,如微细激光成型、微细电火花加工以及微细机械加工等近年来取得较大进展,在三维微小机械结构成型上有独到优势;同时扫描隧道显微加工技术的开发将微型机械向极限尺寸领域推进.微型机电系统/微型机械的长足发展有赖于融合已有先进技术和交叉学科思想的微型机械加工技术的进一步研究开发.     

一种用于微小流量测量的热线式流量传感器的研究

本文介绍了一种用于微小流量测量的热线式流量传感器，它利用热敏电阻作为发热元件和温度敏感元件。文中介绍了使用热敏电阻测量微小流量的方法，分析了它的基本工作原理，并给出了此种传感器进行流量测量的实验结果。实践证明这种热线式流量传感器可以在０～２５ｍＬ／ｍｉｎ的流量测量范围内得到较为准确的测量结果。     

SPI串行Data Flash在MEMS姿态测量系统中的应用

基于MEMS传感器的姿态测量系统以体积小、功耗低、实时性好、方便使用等优点而得到广泛应用,传感器信息除用于实时处理进行姿态解算以外,更需要长时间保存以达到校对、仿真、数值分析等多种用途。针对大容量存储在实际使用中疑难较多的问题,主要介绍了大容量Flash存储器AT45DB321D在姿态测量系统中的应用,描述了其基本性能及在姿态测量系统中的硬件连接和软件设计,重点讨论了利用单片机I/O接口模拟SPI操作以及操作指令的具体实现等问题。     

工程图纸档案的计算机管理

本文系统地介绍了工程图纸自动化档案管理的一些概念和主要实现环节，并以清华大学精仪系开发的工程图纸自动输入和光盘存储系统为背景，描述了图库系统关键信息的使用以及工程图库的建立过程。     

基于MEMS的微型飞行器姿态测量系统

利用三轴加速度计和三轴磁强计,设计了基于MEMS技术的微型飞行器姿态测量系统。系统采用C8051F单片机进行各传感器的数据采集,通过串口通信将采集的信息发送到上位机,用四元数解算算法进行数据融合和姿态解算,将俯仰角,横滚角、航向角等信息在上位机界面上显示出来。     

具有可变性能指标的自校正自适应控制理论的研究

本文在广义最小方差基础上提出了具有可变性能指标函数的自校正控制方案,依据所要求的特征方程之根在线地改变权函数来确定控制律.本方案控制的算法不仅简单而且容易实现.计算机模拟仿真结果表明此控制律性能优于一般的自校正控制律,最终利用本文的方案对船舶航向实施自校正控制进行了讨论并实现了在"大明山"号轮船上的实际海试,结果表明性能优良.     

小型半导体制冷恒温控制系统的实验研究

构建了一种新型的基于半导体制冷的小型恒温控制系统，利用该系统对影响半导体制冷效果的关键因素进行了实验研究，并且给出了优化导体制冷效果的改进意见，在开环实验测定系统控制参数的基础上，利用单片机半导体制冷进行了闭环自动控制实验，室温下，加负载，控制温度范围为6－7℃，系统在航天、医疗以及民用的小冷量制领域都可得到广泛的应用。     

微小型化学能推进器的研究

化学能推进系统功耗低、结构简单紧凑,适于微小型化。本文介绍了两种微小型化学能推进器的结构设计、制造工艺、仿真和实验结果。(1)微小型固体推进器阵列,由点火电路、工质贮腔和喷口阵列等部件构成,根据理论分析,对结构尺寸进行了优化,改变单元尺寸,可以得到0．5～30mN不同推力级别,比冲(Isp)大于300s;(2)同相催化的单组元液体推进器,其关键部件是微小型推力室,包括催化反应腔和喷管等结构,试验样机的冲量输出分辨率优于80μNs。     

MEMS微型燃料电池及其基于压电风扇的换气方法

介绍了基于MEMS的微型燃料电池的国内外研究动态 ,对其技术关键进行了阐述。在此基础上 ,对微型燃料电池的换气方法进行了研究。提出一种低功耗、体积小的压电风扇 ,对其力学模型进行了分析 ,并进行了风速、振幅、功耗等方面的实验研究 ,初步证明其应用于微型燃料电池换气的可行性     

微小型高压力流体电磁控制阀

用于航空航天领域微流量控制系统中的微小型阀 ,需要具有耐高压、低泄漏、高频响和高控制精度等综合性能。本文提出了一种可控高压力微流体的常闭微小型阀的设计方案用于满足该系统需要 ,其特点在于采用以较小的致动力控制较高的流体压力的结构原理 ,并以弹性材料薄膜作为阀芯的支承结构件同时作为密封件。该阀由其本体结构和外置致动器两部分构成 ,其本体结构的设计在制作工艺上适合进一步的微小型化 ,外置致动器的设计具有较大灵活性。初步研制了采用电磁致动的小型常闭阀样机既可控气体又可控液体的特性。实验测试其工作压力范围为 0～5atm ,阀的驱动响应时间小于 5ms,流量控制分辨率达到 9μL/ pulse ,无泄露