Cu互连线显微结构和应力的AFM及SNAM分析

在ULSI中采用Cu互连线代替Al以增加电子器件的传输速度和提高器件的可靠性，Cu的激活能约为1．2eV，而Al的激活能约为0．7eV,Cu互连线寿命约为Al的3－5倍。Cu大马士革互连线的制备工艺为：在硅衬底上热氧化生成的SiO2上开出凹槽，在凹槽中先后沉积阻挡层Ta和晶种层Cu，然后由电镀的Cu层将凹槽填满，最后采用化学机械抛光将凹槽外多余的Cu研磨掉，Cu互连线的尺寸为：200um长，0．5μm厚，宽度分别为0．35，0．5，1至3μm不等，部分样品分别在200℃，300℃和450℃下经过30min退火。利用原子力显微镜（AFM）和扫描近场声学显微镜（SNAM），同时获得形貌像和声像，分别了Cu大马士革凹槽构造引起的机械应力和沉积引起的热应力对Cu互连线显微结构及可靠性的影响，SNAM是在Topometrix公司AFM基础上建造的实验装置，实验采用的机械振动频率在600Hz-100kHz之间。分析测试结果如下：1．AFM和SNAM可以实现对微米和亚微米特征尺寸的Cu互连线的局域应力分布和显微结构的原位分析。2．采用AFM，TEM、XRD观察和测试了Cu互连线的晶体结构，分析了大马士革凹槽工艺 对Cu晶粒尺寸及取向的影响。平坦的沉积态Cu膜的晶粒尺寸约为100nm；而由大马士革工艺制备的凹槽中的Cu互连线的晶粒尺寸约为70－80nm，凹槽结构抑制了晶粒生长，平坦的沉积态Cu膜有较强的（111）织构；而凹槽中的Cu互连线的（111）织构减弱，（200）和其它的晶体取向分量增强。3．SNAM声阻尼信号对材料局域应力的变化敏感，SNAM声图衬底可显示出局域应力的分布，在沉积态的Cu互连线声图中，金属和SiO2介电层的界面处像衬度强，表明该处为应力较高的区域，而在退火后的Cu互连线的声图中，金属和SiO2介电层的界面处像衬度弱，表明退火后该处应力减小，我们对Cu膜进行了宏观应力的测试，退火后应力值从沉积态的661MPa减少至359Mpa，这与SNAM声成像的结果相符合。     

1OOV高压pMOS器件研制

研制出适用于100V高压集成电路的厚栅氧高压pMOS器件.在器件设计过程中利用TCAD软件对器件结构及性能进行了模拟和优化,开发出与0.8μm n阱标准CMOS工艺兼容的高压工艺流程,并试制成功.实验结果表明,该器件关态击穿电压为-158V,栅压-100V时饱和驱动电流达17mA(W/L=100μm/2μm),可以在100V高压下安全工作.     

聚焦视频交互式多媒体业务：视频交互式多媒体业务研究进展

随着互联网和移动通信网的逐渐普及,视频交互式多媒体业务迅速发展,带来了庞大的市场和产业价值,成为未来通信业务新的增长点。本文首先介绍了国内外视频交互式多媒体业务的开展情况,然后,从共性技术、基础标准．系统标准和系统平台四个方面详细介绍了视频交互式多媒体业务的技术体系。近年来视频交互式多媒体业务技术变化日新月异,新技术层出不穷,极大地提高了业务的服务质量。本文最后着重介绍了视频交互式多媒体业务中的虚拟现实技术、视频转码技术、多媒体检索技术及最新技术进展及其给视频交互式多媒体业务所带来的变化。     

ULSI铜互连线技术中的电镀工艺

通过对电镀液中加入适当的整平剂和采用三步电流法 ,成功地将工业镀铜技术应用于 UL SI铜互连线技术中 ,实现了对高宽比为 1μm∶ 0 .6 μm的刻孔的无空洞、无裂缝填充 .方阻测试表明 ,所镀铜膜的电阻率为2 .0 μΩ· cm,X射线衍射分析结果显示出的 Cu(111)的致密结构非常有利于互连线技术中高抗电迁移性要求     

一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法北大核心CSCD

双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对关系的情况下,通过波片的连续旋转测量偏差角度。探讨了偏差角度对椭圆偏振测量的影响,具体描述了检测方法的原理及数学表达,并通过对检测过程的模拟验证了方法的有效性。此方法对检测和提高双波片式补偿器制造精度具有参考价值。     

100V高压pMOS器件研制

研制出适用于100V高压集成电路的厚栅氧高压pMOS器件. 在器件设计过程中利用TCAD软件对器件结构及性能进行了模拟和优化，开发出与0.8μm n阱标准CMOS工艺兼容的高压工艺流程，并试制成功. 实验结果表明，该器件关态击穿电压为-158V，栅压-100V时饱和驱动电流达17mA (W/L=100μm/2μm) ，可以在100V高压下安全工作.     

基于混合电极两步键合工艺的阳极键合研究

提出了一种基于新型混合电极的两步键合工艺。阳极键合工艺是在自行设计的多功能键合系统中完成,分析了不同电极配置对键合时间,键合强度以及键合界面的影响,并详细分析了键合界面和键合强度。借助于新型混合电极结构,能够在15-20min内实现无气泡晶圆级阳极键合,其键合强度高于10MPa。 以上结果表明,该种键合方法有非常好的应用价值,能应用于绝大多数晶圆级MEMS封装。     

杜比解码器的鉴别与调整

<正> 当今最热的AV潮流可以说是家庭影院系统。家庭影院系统的核心器材是杜比环绕声解码器。大多数爱好者对杜比解码器了解不多,更谈不上对其正确选用和性能鉴别了。正因为如此,一些假冒产品得以泛滥,使用户叫苦不迭。本文介绍杜比解码器的性能鉴别和调整方法,以利于读者合理选购杜比解码器,建成自己满意的家庭影院。 一、何谓杜比解码器 杜比解码器是一种音频设备,与视频系统毫无关系,也就是说,在家庭影院中,杜比解码器的好坏对视频系统没有影响。也许有的用户会说多数解码器和AV功放均设有视频输入、输出端子,实际上视频信号仅仅是从中通过一下,与解码电路本身毫无关系。这种设置主要是为方便使用,绝无其它意义。     

微波用于抑制光刻胶纳米线条倒伏的研究

针对半导体工艺中去离子水的表面张力导致显影干燥过程中光刻胶纳米线条容易发生倒伏的问题,采用了微波干燥方法,以抑制光刻胶纳米线条倒伏。利用微波的热效应和非热效应,降低去离子水的表面张力,使光刻胶纳米线条上的去离子水均匀、快速地蒸发,有效抑制了光刻胶纳米线条的倒伏。与氮气干燥处理的传统方法相比,该方法能使高130 nm、宽15 nm的光刻胶纳米线条不发生倒伏,效果明显。这表明,该方法是可行和有效的。     

一种基于改进的GVF-Snake模型的车辆跟踪算法

提出一种基于改进的GVF-Snake模型(基于梯度矢量流的活动轮廓模型)的车辆跟踪算法.该算法利用帧差法自动获取车辆的初始轮廓,通过改进的GVF-Snake模型,从车辆视频流中准确提取出车辆的轮廓.为提高计算速度,改进的GVF-Snake模型采用贪心算法逐点迭代,并根据控制点的距离,自适应地增删控制点,以适应车辆目标大小变化.在此基础上,应用预测算法对车辆进行快速准确的跟踪.实验结果验证该算法的有效性.