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徐德衍 《仪表技术与传感器》1983,(1)
一、概况非球面光学检验,以早期的补偿法到现今用计算机制做全息图,国内外已有不少报导与专著。由于剪切干涉仪有如下优点:对外界干扰不甚灵敏,制作简单,携带方便,操作容易,造价低廉,用白光光源即可检验不同口径的光学系统和未镀膜的各种镜面的抛光表面等,二十多年来亦获得了广泛的应用。本文所谈及的是指用剪切干涉仪直接检验非球面以及非球面的补偿系统。早在1970年,美国国家标准局,J.B.Saun-ders以抛物面理论剪切干涉图形为标准。用棱镜剪切干涉仪目视检验了七块离轴抛物面镜(每块直径203毫米,离轴5°)的质量。 相似文献
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本文论述了白光干涉测量技术在磁盘机的磁头一盘片微小间隙测试方面的原理、应用及误差分析。该试验的技术方案是在模拟盘片的光学玻璃圆盘上进行的。 相似文献
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介绍了 ISO1 0 1 1 0产生的背景及基本内容 ,对其中一些内容予以侧重阐述。同时也简略地提及该标准与其它一些标准的对应关系。文末提了几点建议。 相似文献
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投影光刻机调焦调平传感技术的研究进展 总被引:10,自引:0,他引:10
阐述了投影光刻机调焦调平传感器的重要作用及其技术进展,详细介绍了国际上典型的调焦调平传感器,并对多种传感技术的光学原理和关键技术进行了分析和比较。 相似文献
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给出了国内几种不同规格傅里叶变换物镜波象差的剪切干涉检测结果,并将其中两种物镜在Zygo干涉仪上进行复测,两者结果完全一致。 相似文献
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对激光源构成的光电自准直仪的基本条件进行了分析,列出了该类仪器基本参数的计算方法。所得到的关系式可以用最佳方式选取自准立仪光学系统的元件。就计算而言,按作者的看法,最合理的方法是利用描述单模激光辐射方案。 相似文献
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光学平行平板的平行度,一般用干涉仪、自准直仪或测角仪度盘度量,视要求精度而定。测量诸如锗窗板之类可见光不透明的光学元件,用可见光干涉测量的常规技术一般不能使用。为此设计了一简易方法来测量它们的平行度。 相似文献