校正会聚光束中布儒斯特角窗口的象差:一种简易方法

Wood等人最近的一篇文章叙述了在会聚激光束中使用布儒斯特角窗口的结果.正如报导的那样,因倾斜平板而引入了球差、彗差及象散,结果导致了比衍射极限所限制的焦点更大的焦点尺寸.图1示出了输出会聚激光束中一种典型的布儒斯特角窗口.Doherty的文章描述了校正会聚光中分束器象差的一种简易方法.     

投影光刻机调焦调平传感技术的研究进展

阐述了投影光刻机调焦调平传感器的重要作用及其技术进展,详细介绍了国际上典型的调焦调平传感器,并对多种传感技术的光学原理和关键技术进行了分析和比较。     

一种新型激光束准直检测仪

最近,我们成功地研制了一种新的激光束准直检测仪并已成为专利产品。虽然该仪器基于通常的单楔板剪切干涉原理,但其独特之处却在于它能通过旋转楔板的两个相反位置给出条纹角度的读数,求出被测光束的有关定量信息。由于楔板旋转角度的读数可以达到很高精度,因而也就可以得到很高精度的干涉条纹方向的角度读数,应用离焦量△f=nβf~2tgα/S,或发射角θ=nβDtgα/S公式(其中n,β分别为楔板折射率及楔角,f为被测系统的焦距,S为剪切量,α为楔板的旋转角,D为被测光束的口径),其中除α角是测量值外,其     

苏联激光参量国家专用基准简介

编译者按：随着激光事业发展，建立激光参量计量基准非常必要。我国正在逐步建立。本文摘编苏刊专辑文章，因篇幅有限，只将有关重要参数、技术指标等扼要列出，以供参考。     

测量光学元件表面粗糙度的取样问题

根据统计规律,通过对在ZYGOMaxim·3D5700非接触表面轮廓议上测试的6种光学元件表面大量的rms（root－mean－square）数据分析的基础上,认为,在未引入“大”疵病的前提下,被测表面按口径大小和光滑程度取一定的采样区域数就足以表征整个表面的粗糙程度,无需因采样区域数偏少怀疑结果的代表性而添加许多测试区域数。为了反映光学元件整个表面轮廓起伏程度,作者推荐测试结果以rms±σ表征为宜。     

单模光纤中光束偏振态的自调节

本文从等效波片的观点出发,详细介绍了等效波于片的弯曲单模光纤圈,以及由几个这样的光纤圈的组合,通过简单的扭转装置来控制单模光纤中传输光偏振态的自调节原理与技术。实验证明,采用本文设计的调节系统完全可以取代经典波片,从而实现单模光纤中传输光束偏振态的自调效果。     

光学元件的疵病检验与研究现状

“光学零件表面疵病”曾在国家标准GB1031－68及GB1185－89中做过专门描述。研究发现，这些标准与国际上一些国家的相关标准及测试方法相差较大，而最近国际光学委员会推荐的一个不同用途光学元件的疵病指标值得注意[1]。本文在介绍了一些国外标准的基础上，侧重分类描述了当今世界上具有代表性的疵病检验方法、原理及各自的特点，旨在为我国光学界同行在应用、研究及制定相关标准时参考。文后作者提出了在光学元件的疵病检验和标准制定方面的一些粗浅看法。     

狭缝投影位置传感技术及其在精密定位中的应用

提出了一种基于狭缝投影的位置传感技术，阐述了此技术的传感原理及其在精密定位中的应用。准直激光束照明的投影狭缝由一个透镜以掠入射角度投影在被测物体上，狭缝投影经过被测物体表面的反射和另一个透镜的成像在探测双缝上形成投影狭缝像。探测双缝放大成像在双像限探测器上，投影狭缝像透过探测双缝的光强分别被双像限探测器的两个像限所接收，通过检测双像限探测器两个像限上的光强获得被测物体的位置。实验验证了此传感技术的可行性，其位置重复测量偏差小于32nm（1σ）。     

板条激光器的像散补偿

报道了一种板条激光器的像散补偿方法，分析了板条激光器像散补偿后的高斯光束特性。