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表面微结构的制备是微光子器件制备过程中一个十分重要的步骤.为了降低工艺复杂性和成本,把软刻技术与溶胶-凝胶材料相结合应用于微光子器件中光路微结构图案的制备.采用软刻工艺,即通过表面带微结构图案的弹性模板压印在玻璃或硅片上溶胶-凝胶来实现微结构图形的转移,研究重复使用PDMS模板来压印出微结构图案.用高倍光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)观察所制备的溶胶-凝胶材料的表面微结构,分析影响压印结果的因素,获得了畸变小的表面微结构,如线阵结构(1维光栅)和点阵结构(2维光栅结构)图案. 相似文献
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Sb2S3薄膜在非线性光学和太阳能电池方面具有重要的应用.以SbCl3为原料,用湿化学方法制备了Sb2S3薄膜.用XRD、DSC、FTIR和XPS等对薄膜进行了结构表征,用椭圆偏振仪测试了薄膜的折射率.研究结果表明所得薄膜为非晶态,其析晶温度约250 ℃,折射率约2.98,薄膜组成计量接近Sb2S3. 相似文献
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COG邦定机是液晶模块生产中的关键设备,是集光学、计算机控制、图像识别处理、精密机械等多学科技术于一体的高精度、高可靠性微电子专用设备。邦定机压头是拾取芯片进入CCD物方视场进行图像识别采样并最终完成压接的重要部件之一。由于CCD相机物方视场较小,压头工作中因加热引起的热变形影响CCD图像识别,往往使得加热后IC的图像识别模糊不清。本文利用ANSYS软件成熟的热应力分析功能分析并获得了压头热变形理论值,结合实际测量验证了有限元分析结果,以理论分析结果进行压头调节获得了较理想的IC标识CCD图像识别效果。 相似文献
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如何克服电除尘器绝缘子的热击穿和绝缘老化 总被引:1,自引:0,他引:1
电除尘器绝缘子一般都是在一定温度的高压电场中工作,在电场和温度场的复合作用下,绝缘子的热击穿和绝缘老化是造成其绝缘失效的主要形式。在以固体电介质为中心的绝缘组合中,当受电场和温度场复合作用注入的能量大于散热量时,绝缘子本体温度上升直至发生击穿。电除尘器绝缘子的热击穿不仅取决于电场强度,还与周围的环境温度和材料本身的特征有关。通过研究绝缘材料在高温下的电学性能,尽量选择t_e值(当材料电阻率下降至1 MΩ·cm时的温度)较高的材料制造电除尘器绝缘子,优化绝缘配合的设计,设法均匀绝缘子周围的电场,可有效地阻止热击穿和延缓绝缘老化,提高电除尘器绝缘子的适应性和可靠性,以满足电除尘器高温、高压电场的特殊绝缘要求。 相似文献
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