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研究了恒定气压下、通入不同气体流量对射频磁控溅射原位沉积氮化铝(AlN)薄膜应力、结晶质量和表面形貌的影响。利用应力分析仪、X线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和台阶仪对AlN薄膜的结构特性进行了分析。结果表明,恒定气压下改变通入气体流量对薄膜应力、结晶质量、表面形貌及粗糙度和薄膜沉积速率均有影响。当通入气体流量为10cm3/min时,AlN薄膜呈明显的压应力,结晶质量较差。增加通入气体流量降低了薄膜沉积速率和增加了表面粗糙度,但有利于减小薄膜的压应力和提高薄膜的结晶质量。本实验条件下得出的溅射AlN薄膜的最佳流量条件为50cm3/min。 相似文献
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硬件演化原理及实现方法研究 总被引:7,自引:4,他引:3
文章对基于Virtex系列FPGA的硬件外部演化技术进行了研究,对演化算法的流程进行了分析,介绍了演化硬件的概念、原理、JBits API软件以及Virtex器件结构。基于JBits软件,采用外部演化的方式对电路进行演化,并通过仿真实例证明了这种方法的有效性。 相似文献
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心电图机行业标准和计量检定规程的对比分析及建议 总被引:1,自引:0,他引:1
一、OIML R90国际建议及国内相关标准和计量检定规程 20世纪90年代,国际法制计量组织OIML制定了OIML R90国际建议.该建议规定了心电图机的主要计量特性和评定程序,目的在于给生产和检测心电图机提供一个确定其计量特性的统一方法。 相似文献