真空计量标准期间核查方法的探讨

在选择真空计量标准期间核查方法时,如果计量标准的准确度要求较高,宜优先采用传递比较法和多台平均值法;如果计量标准的准确度要求较低,可采用比对法。介绍了静态膨胀法真空标准装置、气体微流量标准装置、真空规比对标准装置的期间核查方法。     

极高真空电离规的校准实验研究

介绍了2支反磁控型冷阴极极高真空电离规和1支热阴极极高真空电离规的校准实验研究结果。实验设备是一台极高真空校准装置,实验范围为10^-9～10^-1Pa,实验气体为N2。实验结果表明,尽管2次校准结果的重复性较好,但就单次校准结果来看,每个规的灵敏度（修正因子）的最大值和最小值之间的偏差较大。因此,极高真空电离规要得到准确的测量结果,对其进行精确校准是非常必要的。     

小孔流导的理论计算与蒙特卡罗计算

用理论公式与蒙特卡罗方法分别计算了动态流量校准系统和超高/极高真空校准系统中小孔流导的修正系数,比较了2种方法的计算结果。用蒙特卡罗方法计算了小孔系统的传输几率。蒙特卡罗方法计算结果的标准偏差在4．5×10^-7到1．1×10^-5之间。     

仲裁协议效力的认定及影响

仲裁协议是指当事人在合同中订立的仲裁条款或在纠纷发生前、纠纷发生后达成的请求仲裁的书面协议。它是仲裁的前提,是仲裁机构行使管辖权的依据。没有仲裁协议,则没有仲裁行为。仲裁协议无效,仲裁行为和仲裁作出的裁决亦无效。因此,仲裁协议的有无,仲裁协议的效力如何,对能否仲裁有着决定性作用。     

定容法测量小孔流导的方法研究

规则小孔的流导可以通过计算得到，但对于非规则小孔，若要准确得到小孔流导的大小，就必须通过实验测量得到。文章论述了定容法测量小孔流导的方法，进行了测量不确定度的评定，得到了整个校准范围内小孔流导随进气压力变化的拟合曲线和方程，小孔流导的测量不确定度为1．1％。     

差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试

提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案.通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化.根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试.测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度优于10 fF/Pa,测试曲线可以实现分段线性.     

极高真空校准室内残余气体的成分分析

用四极质谱计对316L不锈钢制作的极高真空(XHV)校准室在烘烤前、后的残余气体成分进行了分析。一个热阴极电离规(IE514)和一个四极质谱计(QMS200)连接在XHV校准室上。烘烤前,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有H2O、CO、H2、CH4和CO2。烘烤后,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有CO、H2、CO2和CH4。整个烘烤过程完成后2h,XHV校准室内的压力在室温下通过分子泵串联抽气机组抽至8.97×10-9Pa,用四极质谱计分析到的残余气体成分主要为H2和CO。整个烘烤过程完成后4h,打开非蒸散型吸气剂泵(NEGP)对XHV校准室抽气,结果表明NEGP对H2具有较大的抽速,但对碳氢类化合物(如CH4)和惰性气体几乎没有抽速。用NEGP对XHV校准室连续抽气72h后,XHV校准室内的压力从8.34×10-9Pa下降到9.12×10-10Pa。不锈钢XHV校准室内的残余气体成分中大量的CO和CO2主要来自于四极质谱计。     

热阴极电离真空计相对灵敏度数值计算与实验研究

电离真空计广泛应用于超高真空测量,是目前唯一实际可行的超高真空测量仪器。针对不同气体环境,真空规管的电离截面不同且对测量灵敏度产生显著影响,本文基于BEB电子碰撞电离截面模型和数值仿真算法,精确计算了真空规管电离区域内不同气体的电离截面,并实测了真空规管灵敏度变化特征。结果表明,在10^-8-10^-5 Pa压力范围内,Kr、Ar、CH₄、CO₂、He气体在真空规管中的相对灵敏度分布偏差最大仅为4.78%,不同气体的实测相对灵敏度分别为2.01、1.46、1.66、1.45、0.198。数值计算结果与实验结果具有良好一致性。     

大质量数四极质谱计技术研究

大质量数四极质谱计主要用于密闭有人环境中微量有毒、有害气体的检测。基于质量数范围1～1 024 amu、绝对分辨本领1 amu的需求,进行了大质量数四极质谱计关键参数设计分析,完成了总体方案设计和测试分析。测试结果表明,该四极质谱计的质量数范围覆盖1～1 024 amu的设计参数,最佳分辨本领可以达到1 amu以下。     

小型双聚焦磁偏转质谱计研究

为了满足我国空间探测任务不断发展的需求,研制了具有Mattauch-Herzog结构的小型双聚焦质谱计。基于离子光学原理进行设计,利用离子光学透镜模拟软件SIMION8.1仿真,研究了离子初始状态等参数变化对最终焦平面成像结果的影响,优化了相关结构。研制的质谱计对H₂的半峰宽(FWHM)实际测试结果为0.087 5 amu(绝对分辨率),小于指标要求的0.1 amu,表明仪器的分辨本领达到了设计要求。