悬臂式RF MEMS开关的设计与研制

介绍了一种制作在低阻硅(3～8Ω·cm)上的悬臂式RF MEMS开关.在Cr/ Au CPW共面波导上,金/Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂,静电受激作为开关机理.当开关处于“关断”态,其隔离度小于- 35 d B(2 0～4 0 GHz) ;阈值电压为13V ;开关处于“开通”态,插入损耗为4～7d B(1～10 GHz) ,反射损耗为- 15 d B.另外,还分析了开关的悬臂梁弯曲度与驱动电压的关系,并应用ANSYS软件对开关进行了电学、力学及耦合特性的计算机模拟     

硼离子选择注入制备多孔硅微阵列

根据 p型硅和 n型硅不同的制备多孔硅的工艺条件 ,利用硼离子选择注入 ,在 n型硅片上的局部微区域 ,形成易于腐蚀的 p型硅 ,用电化学腐蚀方法制备出图形化的多孔硅阵列 .省去了传统掩膜腐蚀工艺的掩膜材料的选取与制备以及后道工艺中掩膜材料的清除等工艺 ,克服了掩膜材料掩蔽效果较差以及存在横向钻蚀等缺点 .通过 AFM,SEM测试 ,证明该方法的效果很好     

AlN薄膜的KrF准分子脉冲激光沉积

研究了采用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上AlN薄膜的制备及其性质。结果表明,衬底温度从室温到800℃的范围内,所得到的AlN薄膜为(002)择优取向的纤锌矿结构。随着衬底温度的升高,AlN薄膜从纳米晶结构转为多晶结构,同时表面微粗糙度上升。AlN晶粒呈柱状生长机制。     

高阻硅掩膜选择性生长多孔硅阵列

介绍一种在低阻P型硅衬底上用氢离子注入技术形成局部高阻硅掩膜,用电化学腐蚀选择性生长多孔硅微阵列的工艺流程。结果证明,用高阻硅掩膜选择性生长多孔硅具有很好的掩蔽效果,生成的多孔硅阵列的有序性和完整性良好。     

甲醇汽油专用润滑油行车试验研究

为考察中国石油兰州润滑油研究开发中心研制的SJ10W-30甲醇汽油专用润滑油的实际使用性能,选用山西省佳新能源化工有限公司改装的M100甲醇汽车进行道路行车试验。通过监测油品理化性能和油品中金属元素含量变化考察了油品在实际行车条件下的使用性能。试验结果表明:该油品具有良好的清净性和分散性,良好的高温抗氧化以及抗磨性能,可以满足M100甲醇汽油发动机的使用要求。     

用于低或超低界面张力测定装置-旋转液滴界面张力测定仪

液液界面现象大量存在于生物体及自然界中,界面张力的测定对于界面化学,化学舔生剂开发、三次采油等具有重要意义,本文自行研制了 用于低或超低界面张力测定装置一旋转液滴界面张力测定仪,测定了一些两相系统的界面张力,并将所测搂民文献值进行了比较,结果表明,研制的旋转液滴界面张力仪具有较好的测定精度,可用于低或超低界面张力的测定。     

从汶川地震认识震情快速应对的作用及发展

2008年5月12日四川汶川8级特大地震的发生,彰显出地震震情快速应对在抗震救灾斗争中的巨大作用和效果,也反映出政府、公众对此项工作的迫切需求和衷心的期望。自从1966年邢台地震以来,在40多年地震工作的实践过程中,逐     

免蒸压加气混凝土的研究进展

介绍了免蒸压加气混凝土的组成及制备方式,从养护制度,性能优化及矿物掺合料的影响等方面分别阐述了国内外免蒸压加气混凝土的研究现状,指出免蒸压加气混凝土现有缺陷及发展方向,并提出了利用钢渣、矿渣和脱硫石膏胶凝体系制备全固废免蒸压加气混凝土的新思路。     

应用物探方法探测高速公路路基岩溶

本文主要探讨物探方法在灰岩区探测溶洞方面的有效性,为今后的道路岩溶探测提供经验参考。文中以郴(州)宁(远)高速公路K196+500～K196+700段岩溶探测为例,采用地质雷达、高密度电阻率方法探测溶洞的分布情况,最后利用钻孔对物探解释结果进行抽样验证。根据钻探资料可知,物探的解释成果是准确可行的,物探方法不仅节省了勘察成本,还避免了钻探以点代面的缺陷。在今后的工作中,可将这两种方法结合起来进行推广应用。     

基于GNSS技术的排土场边坡监测及稳定性研究

本文介绍了边坡工程监测技术和方法,并以大孤山铁矿废弃排土场边坡监测项目为例,运用GNSS在线监测技术,综合分析边坡变形监测数据,对大孤山排土场边坡的安全状态及稳定性进行评价。研究表明:①大孤山铁矿废弃排土场边坡各监测区域内沉降位移普遍要大于水平位移,且沉降位移的波动趋势显著高于水平位移,可知大孤山排土场边坡变形主要由沉降导致;②各监测区域的沉降位移曲线在2017年7～9月及2017年12月～2018年2月波动显著,呈现先下降后上升的趋势,与监测区域受夏季降雨影响处于活跃期以及冬季冰雪冻胀影响的情况相符,其中,降雨对监测区域变形的影响大于冰雪冻胀的影响;③球团厂、黄岭子村以及滑坡区监测区域的下部变形普遍大于上部变形,邻近滑坡区的尾矿库监测点水平位移及沉降位移要略高于尾矿库其他监测点,由于边坡底部紧邻厂区或居民生活区,应重点关注边坡底部变形,加强监测力度,确保该区域边坡稳定及安全;④综合分析可知,大孤山铁矿废弃排土场边坡划分的四个监测区域中,球团厂变形最大,黄岭子村及滑坡区次之,尾矿库稳定性良好。研究成果对同类矿山边坡工程的监测及预警具有重要借鉴意义。