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采用100kW级直流电弧等离子喷射法进行金刚石膜沉积,阐述了氩气对维持电弧稳定的重要作用,讨论了氩气流量对衬底表面轰击的影响,氩气流量和不同电弧分区对形核期金刚石表面形貌和晶粒尺寸的影响,以及时间和不同预处理方式对金刚石形核密度的影响。结果表明:随着氩气流量的增加,氩气对衬底表面的轰击作用增强,金刚石膜表面形貌呈现从(111)到(100)的变化规律,金刚石晶粒尺寸减小,晶形变得不完整;弧边位置(100)取向更明显;使用金刚石微粒对衬底进行研磨预处理能显著提高金刚石的形核密度。 相似文献
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124.
为获得高频、高性能金刚石声表面波器件的多层结构,在金刚石/Si衬底使用磁控溅射方法优化ZnO与SiO2薄膜沉积工艺参数,制备了具有正负温度系数组合的SiO2/ZnO/金刚石/Si多层结构,并对多层结构进行表征。结果表明:随着氩氧比增加,ZnO薄膜的沉积速率不断加快,薄膜的表面粗糙度不断增大;ZnO薄膜中的原子摩尔分数比随O2输入量的减少而逐渐接近理想的1∶1。不同氩氧比下制备的ZnO薄膜均呈(002) 面择优取向生长,其中在氩氧比7∶1时,获得了具有细小柱状晶特征、C轴择优取向程度较高的ZnO薄膜。采用最优的ZnO和SiO2薄膜沉积工艺,在金刚石/Si衬底获得了具有清晰界面的SiO2/ZnO/金刚石/Si多层结构。 相似文献
125.
过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜 总被引:6,自引:1,他引:6
用过滤电弧技术在高速钢表面沉积了TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜,用扫描电镜(SEM)观察了截面和断口形貌及划痕后的形貌。使用俄歇电子谱仪进行剥层成分分析,用纳米压痕仪测试了多层膜和单层膜的显微硬度和弹性模量。结果表明,在调制周期大于l00nm时,多层膜的显微硬度符合Ha11—Petch关系,在80nm时,则脱离线性关系。划痕法测试多层膜的结合力达到80N。 相似文献
126.
目前移动恶意软件数量呈爆炸式增长,变种层出不穷,日益庞大的特征库增加了安全厂商在恶意软件样本处理方面的难度,传统的检测方式已经不能及时有效地处理软件行为样本大数据。基于机器学习的移动恶意软件检测方法存在特征数量多、检测准确率低和不平衡数据的问题。针对现存的问题,文章提出了基于均值和方差的特征选择方法,以减少对分类无效的特征;实现了基于不同特征提取技术的集合分类方法,包括主成分分析、Kaehunen-Loeve 变换和独立成分分析,以提高检测的准确性。针对软件样本的不平衡数据,文章提出了基于决策树的多级分类集成模型。实验结果表明,文章提出的三种检测方法都可以有效地检测 Android平台中的恶意软件样本,准确率分别提高了6.41%、3.96%和3.36%。 相似文献
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