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使用常规的清洗工艺清洗后磷化铟衬底晶片在外延后会出现迁移率低的表现,对缺陷的外延晶片进行分析,发现衬底与外延层界面Si元素的含量较大。针对该问题提出了优化的清洗工艺,对常规的SC1清洗工艺进行浓度优化并使用两步清洗,以及在过程中增加柠檬酸溶液清洗来解决Si元素的残留。对优化工艺前后晶片的氧化层厚度、晶片表面颗粒残留、晶片表面粗糙度、晶片的XRD和PL谱图进行了对比分析,并对优化清洗工艺清洗的晶片表面和外延界面Si元素含量进行了测试,结果表明优化清洗工艺能明显提高晶片表面洁净度并降低晶片表面Si元素的残留,最终解决由于Si元素含量较高造成的外延迁移率低的问题。 相似文献
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防虫磷是一种高效、低毒、经济、安全的广普性杀虫剂。自从1961年国外开始应用防虫磷以来,经美国、加拿大、澳大利亚、阿根廷等三十多个主要产粮国的广泛使用,对储粮害虫具有良好的防护作用。若与熏蒸剂配合使用可以收到取长补短、相得益彰之效果。 我国六十年代初开始应用马拉硫磷,但大部分作为农药应用于田间。七六年宁波制药厂成功地生产出防虫磷后,该药剂才在我国得到了大面积使用。防护范围从国库储粮到农户储粮;防护对象有稻谷、小麦、玉米等。目前应用防虫磷的有浙江、江苏、湖南、湖北、山东、山西、四川、河南等。我省84年也引进该药剂,作为国库和农家储粮的防护剂,鉴于我省很多同志对此药的性能和应用还不十分了解,希望通过此讲能对您有所帮助。 相似文献
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国营大型企业经历了几十年的发展,其产品及零部件的标准化、系列化已具有相当的规模,形成了大量的通用零部件设计图表,并多以文档形式存在.另一方面,随着计算机技术的快速发展,二维CAD得以全面普及、三维CAD开始走向设计的各个领域.在二维CAD软件中,机械制造行业建立了参数化的标准件图库,包括螺栓、销轴等基础性图库,并与编程相结合,开发了齿轮等通用件的参数化设计.企业内部虽然也进行过一些通用件参数化设计尝试,但因开发工作量大、周期长、软硬件开发工具混杂等种种原因,并未取得较好的使用效果. 相似文献
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简要叙述了EPC项目模式在国际、国内的应用背景,陈述了其在我国目前的发展现状,并分别对设计企业、施工企业、咨询管理企业向EPC总承包模式企业转型在各个管理阶段存在的问题进行了分析,最后对我国EPC企业未来发展进行了展望。 相似文献