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抗反射条定域再结晶方法在SOI技术中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
对Si_3N_4/SiO_2/Si多层膜系统对Ar~+激光的反射率进行了模型计算,设计了各种结构的抗反射条并且用CW—Ar~+激光对两种结构进行了再结晶实验研究。通过实验,确定了最佳的抗反射膜结构和条宽。用这种结构可以很好地将晶界限制在低反射区。实验结果支持了计算模型和设计。在设定的区域(500μm×300μm)范围内可以得到无晶界的条形薄膜(由光刻决定条的位置)。把MOSFET的栅区制作在膜的无晶介条上,测量得到表面电子和空穴迁移率分别为(μ-)_n=630cm~2/V·S·(μ-)_p=143cm~2/V·S;NMOS与PMOS管单位沟道宽度的沟道漏电流分别为I_n=3.3pA/μm,I_p=0.067pA/μm。 相似文献
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本文讨论了一个实际应用系统硬软件体系结构的特点和优点,分析了实时系统中主要问题产生的原因,研究了解决问题的策略,并建立了相应的数学模型。最后给出了系统的主要技术指标和经济效益评估及应用前景。 相似文献
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参照国家标准GB 5009.271—2016《食品安全国家标准食品中邻苯二甲酸酯的测定》中的方法,对气相色谱及质谱条件进行优化,并利用与气相色谱仪匹配的自动液体进样器自动添加内标,对白酒中的16种邻苯二甲酸酯进行测定。结果表明,条件优化后能使白酒中16种邻苯二甲酸酯得到较好的分离,在一定质量浓度范围内(0.02~0.20 mg/L),16种邻苯二甲酸酯具有良好的线性关系,R2≥0.998。邻苯二甲酸二正丁酯(DBP)的定量检出限为6.6×10-3 mg/kg,其余15种均小于3.0×10-2 mg/kg,平均回收率为88.6%~106.1%,相对标准偏差(RSD)为1.6%~4.3%。优化条件后,能够节省内标使用量,并且具有较高的准确度和灵敏度,能够满足上述国标对白酒中邻苯二甲酸酯检测的要求。 相似文献
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四川德昌大陆槽稀土矿资源丰富,另伴生锶、钡、萤石和铅等有用矿物。为给伴生资源的回收利用提供依据,采用X荧光分析法、化学分析法、物相显微镜、X射线衍射分析及MLA矿物自动定量系统等手段对矿石化学成分、矿物组成及有用元素赋存状态进行分析。结果表明:①III号矿体矿石属热液型矿石,REO品位3.45%,SrSO_4、CaF_2、BaSO_4等具有回收利用价值,伴生有用矿物主要是天青石、萤石;②矿石分为脉岩型矿石、压碎角砾岩型矿石、细网脉(浸染)型矿石,不同类型矿石中有用矿物形态及嵌布特征不同;③天青石粒度较粗,主要和萤石、方解石连生,分布于-0.038 mm粒级中的较少,宜采用预先脱泥—浮选分离工艺回收;④萤石以显微隐晶质(似土状)为主,多以集合体形式存在,粒状萤石少量,与天青石关系密切,分离、富集相对较难;⑤方铅矿、黄铜矿及闪锌矿等金属硫化矿物含量少,可进行综合回收利用。 相似文献
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为了研究济农腐植酸水溶肥在大棚芹菜上的肥效试验,采用不同稀释倍数(800倍、1000倍、1200倍)的济农腐植酸水溶肥对大棚芹菜进行叶面喷施,以磷酸二氢钾与尿素混合水溶液及清水喷施做对照,观察不同处理对大棚芹菜生物性状的影响。结果表明,与对照组相比,济农腐植酸水溶肥可以明显改善作物性状,提高作物的产量和经济效益。其中,以叶面喷施800倍液和1000倍液济农腐植酸水溶肥两组处理效果最为明显,株高增加0.8~2 cm,茎粗增加0.2~1.0 cm,单株重增加0.01~0.03 kg,小区产量提高8.99%~10.89%,经济效益显著。因此,济农腐植酸水溶肥在芹菜及其他蔬菜上有广阔的推广应用前景。 相似文献