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运用模块化的设计构想,将等离子体增强原子层沉积工艺单元、热型原子层沉积工艺单元,直流磁控溅射单元和射频磁控溅射工艺单元进行高度优化集成,研制了集束型多层纳米薄膜沉积设备。设备创新采用真空旋转传输平台,替代了传统集成设备的机械手结构,实现了样品在高真空(5×10-5 Pa)中传输,而且传输速度快(2~3 s),有效地减少污染,保证样品表面物性的稳定。设备可在全真空的环境下,实现多层纳米薄膜的制备,同时可以对薄膜生长实现原子层精度的控制。设备的磁控溅射工艺平台可以安装金属掩膜板,直接制备图形薄膜。另外设备具有非常灵活的扩展性,针对薄膜工艺需求的不同,可以集成其他的薄膜制备工艺单元。 相似文献
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针对非法采矿现象频频发生及矿政人员巡查不到位等问题,设计并实现了郴州市矿山开采卫星监测系统.该系统通过对中巴地球资源卫星02星图像进行处理分析,标记出合法矿山范围,提供疑似非法开采矿山地理坐标信息.实验结果表明,该系统操作简单,并能提供高效、快捷的监测信息,以供郴州市国土资源局进行核查,实现了矿山开采和卫星图像的科学管理. 相似文献
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(新疆大学电气工程学院,新疆 乌鲁木齐 830047)
摘要:为提高风光资源的利用率,电解水制氢受到了广泛关注,但氢能在生产过程中易受到风光波动性的影响。由此,提出考虑平抑风光波动的碱性-质子交换膜(alkaline-proton exchange membrane, ALK-PEM)电解制氢系统容量优化模型。首先,为降低风光瞬时功率波动对电解制氢系统安全稳定运行的影响,采用EMD算法分析原始风电和光伏功率的瞬时波动特性,并经超级电容(supercapacitor, SC)进行平抑,构建了基于EMD的SC容量配置模型。其次,考虑不同电解槽运行特性因素,将质子交换膜(proton exchange membrane, PEM)电解槽和碱性(alkaline, ALK)电解槽相组合替代单类型电解槽的制氢系统,提出了ALK-PEM电解制氢系统容量优化模型,以提高制氢系统经济效益。最后,以某风电场和光伏电站数据为例,通过仿真计算得到系统的容量规划结果,验证所提模型在平抑波动和提高可再生能源利用率方面的有效性,并提高了制氢系统的经济性。 相似文献
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集雨节灌,榆中领先,闻名全国的“121”工程由此推广开来。 苦干数年,打水窖4万多眼,意味着4万多户农民有水可饮,有水浇田,从此告别了贫困。 江泽民、李鹏、朱镕基等党和国家领导人,先后视察了榆中的集雨节灌工程并作了充分肯定。朱镕基总理评价说:“甘肃已经在艰苦的环境中找到了脱贫致富的路子。” 以色列、美国、德国、佛得角、乍得等国家的农业、环境专家不远万里到榆中实地考察,都对集雨节流工程给予了 相似文献
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