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运用模块化的设计构想,将等离子体增强原子层沉积工艺单元、热型原子层沉积工艺单元,直流磁控溅射单元和射频磁控溅射工艺单元进行高度优化集成,研制了集束型多层纳米薄膜沉积设备。设备创新采用真空旋转传输平台,替代了传统集成设备的机械手结构,实现了样品在高真空(5×10-5 Pa)中传输,而且传输速度快(2~3 s),有效地减少污染,保证样品表面物性的稳定。设备可在全真空的环境下,实现多层纳米薄膜的制备,同时可以对薄膜生长实现原子层精度的控制。设备的磁控溅射工艺平台可以安装金属掩膜板,直接制备图形薄膜。另外设备具有非常灵活的扩展性,针对薄膜工艺需求的不同,可以集成其他的薄膜制备工艺单元。 相似文献
82.
(新疆大学电气工程学院,新疆 乌鲁木齐 830047)
摘要:为提高风光资源的利用率,电解水制氢受到了广泛关注,但氢能在生产过程中易受到风光波动性的影响。由此,提出考虑平抑风光波动的碱性-质子交换膜(alkaline-proton exchange membrane, ALK-PEM)电解制氢系统容量优化模型。首先,为降低风光瞬时功率波动对电解制氢系统安全稳定运行的影响,采用EMD算法分析原始风电和光伏功率的瞬时波动特性,并经超级电容(supercapacitor, SC)进行平抑,构建了基于EMD的SC容量配置模型。其次,考虑不同电解槽运行特性因素,将质子交换膜(proton exchange membrane, PEM)电解槽和碱性(alkaline, ALK)电解槽相组合替代单类型电解槽的制氢系统,提出了ALK-PEM电解制氢系统容量优化模型,以提高制氢系统经济效益。最后,以某风电场和光伏电站数据为例,通过仿真计算得到系统的容量规划结果,验证所提模型在平抑波动和提高可再生能源利用率方面的有效性,并提高了制氢系统的经济性。 相似文献
83.
针对多模态优化问题(MultiModal Optimization Problems,MMOPs)的求解,提出了一种基于邻域低密度个体的差分进化算法.该算法在每一代,首先使用密度峰值聚类的方法求得每一个个体的密度,然后,将当前个体邻域范围内密度更低的个体作为变异算子的基向量,随着种群的进化,算法将会自动从探索阶段转化为... 相似文献
84.
本文介绍了2014仁川亚运会中央电视台电视转播中的通话系统,从前方IBC演播室内部通话、外部通话,节目返送声等方面分析了通话系统的任务,介绍了各部分通话系统的配置,以及通话系统的总体技术方案,并对比总结了该系统的特点。 相似文献
85.
86.
87.
几种新型建筑防水材料的施工应用体会黄平,杨胜,张浩(苏州新港建设发展有限公司)(苏州新型建筑防水工程公司)1几种新型防水材料的特点及质量把关1.1聚氯乙烯胶泥(油膏)聚氯乙烯胶泥原是一种防水嵌缝材料.其延伸性、回弹性及低温柔性很好,施工操作方便,容易... 相似文献
88.
2003年4月15日至19日,《屋面工程技术规范》国标第二次修订会在苏州召开。规范修订组全体成员和应邀出席会议的6个企业的代表着重讨论了《屋面工程技术规范》征求意见稿。在原规范的基础上增加了屋面工程设计方面的内容,对一道防水、复合防水的概念等作了详细的解释,明确提出混凝土结构层自防水不能作为一道防水。同时增加倒置式屋面、钢纤维屋面、沥青瓦屋面等章节。对防水材料的要求,根据新颁布的国家和行业标准作了修改,并提出了不少环保要求。对复合胎沥青卷材作了限定,将其归类于沥青防水卷材。对设计要点、细部构造,根据屋面形状、新… 相似文献
89.
90.
当前,矢量控制是一种优越的交流电机控制方式,它模拟直流电机的控制方式使得交流电机也能取得与直流电机相媲美的控制效果。本文研究了矢量控制系统中磁链调节器的设计方法。首先简单介绍了矢量控制的基本原理,给出了矢量控制系统框图,然后着重介绍了矢量控制系统中磁链调节器的设计和仿真过程。仿真结果表明调节器具有良好的磁链控制效果。 相似文献