VHSI和VLSI用的微细多层布线

本文对VHSI和VLSI所必需的微细多层布线技术进行了研究。选取聚酰亚胺作为层间介质膜,开发出能形成3μm良好通孔的等离子腐蚀和湿腐蚀法,采用原位物理清除技术从根本上克服了接触电阻的难题。在3μm3层布线场合,R_c≤0.1Ω/孔,布线通孔成品率高于99.99％。本项技术业已实际应用,效果满意。     

石砭峪水库泄洪洞复合圆弧曲线弯管水力特性试验研究

石砭峪水为泄洪洞弯段布置为大底坡急流弯道，为调整其水流流态，进行了水工模型试验。根据隧洞已开挖的现状，又要较好的控制洞内水流流态，试验中曾对弯道体型进行了多次修改比较，其中复合圆复弧变道体型较好的控制了急流弯道水流流态。本文结合该工程试验研究，着重对复合圆弧弯道水流特性及其控制急流效果进行了阐述。并提出了急流弯道的初步选型方法。     

SW-2型涡流探伤仪的数据处理与图形显示系统

本文讨论了应用微机对四通道涡流探伤仪所提供的信号进行采集。处理并进行显示和报警的关键技术及软件系统的整体结构及功能。显示包括幅度显示和矢量显示,报警采用了扇区报警方式。     

GaAs MES FET单片集成电路工艺研究

用缓冲场效应晶体管逻辑(BFL)电路,研究了GaAs MES FET单片集成电路的工艺.为提高单片电路的集成度,给出了设计平面器件最小欧姆接触长度的直读曲线.对磷酸系腐蚀液的工艺特性进行了研究,并与其他几种常用的腐蚀液进行了比较.采用盐酸浸泡法结合栅区深腐蚀技术,明显地改善了肖特基势垒结的特性.利用俄歇能谱仪对Au-Ti-GaAs肖特基势垒结的热退化失效进行了分析,并提出了改善措施.已制出管芯平均传输时延小于100ps的GaAs单片集成门电路.     

一种汽轮机汽缸变形量测量技术

大型火力发电厂汽轮机组的热效率(尤其是各个缸的热效率)高低,对机组的安全生产、经济运行和安全文明生产所起的作用是决定性的,直接关系到发电厂的经济效益和机组的安全运行。对此,各个电厂对机组的大修尤为重视,对汽轮机检修的质量控制要求很高,尤其是在汽轮机检修中对通汽部分间隙的调整要更加谨慎,通流间隙调整的好坏决定了检修质量,提高了运行效率。     

Analysis of the Active Au Species on Au/α-Fe2O3 Catalyst

采用沉积沉淀法制备了CO低温氧化 Au/α-Fe2O3催化剂,利用 X 射线衍射(XRD)、X 射线光电子能谱(XPS)、BET 比表面测定、程序升温还原(H2-TPR)等表征技术,对比了制备过程 pH 值的微小变化、焙烧及光线照射对催化剂结构及催化性能的影响,探明了 Au/α-Fe2O3催化剂的活性物种。结果表明,110 ℃处理的 Au/α-Fe2O3催化剂表面同时存在 Au3+、Au0以及过渡态 Auδ+(0<δ<1),它们对 CO 氧化的活性顺序为 Au3+>Auδ+>Au0;pH 值为 8 条件下制备的催化剂 Au3+含量高、比表面积大,催化性能最好;高温焙烧使氧化态金还原的同时也使载体比表面积严重缩小,催化活性显著下降;紫外线照射可以引起 Au3+的逐渐还原以及 Au0 颗粒的生长,其催化失活作用弱于高温焙烧。     

超高效液相色谱-四极杆/静电场轨道阱高分辨质谱快速测定白酒中5种天然甜味物质

建立利用超高效液相色谱-四极杆/静电场轨道阱高分辨质谱（UPLC-Q/Orbitrap MS）快速测定白酒中葡萄糖、果糖、蔗糖、麦芽糖和乳糖等5种天然甜味物质的分析方法。样品经蒸馏水稀释一定倍数后,过0.22 μm微孔滤膜,直接进样分析检测。以Polaris NH2色谱柱为分析柱,乙腈-5 mmol/L乙酸铵缓冲溶液为流动相进行梯度洗脱分离,在电喷雾电离源负离子模式下进行检测。结果表明,5种天然甜味物质在0.2～100.0 mg/L的范围内线性关系良好（相关系数R＞0.996）,基质加标回收率范围为86.9%～105.4%,相对标准偏差（RSD）为0.5%～10.8%,检出限为0.05～0.12 mg/L。该方法前处理简单,测定快速、准确、灵敏度高,非常适合白酒中这5种天然甜味物质的快速筛查和定量分析。     

PROFIBUS现场总线及其在光纤制造工艺中的应用

介绍Profibus现场总线技术的主要特点,并结合光纤预制棒生产设备的设计介绍了基于Profibus现场总线的工业自动化控制系统。     

冰箱加湿保鲜技术应用与研究

本文研究蔬菜保鲜的原理,设计了一种针对冰箱内蔬菜保鲜的加湿保鲜果蔬室。利用CFD模拟计算,确立了最佳的温湿度方案。最终测试结果表明,该方案的果蔬室在温湿度控制方面要远好于传统冰箱,蔬菜外观良好,水分损失小,VC含量和叶绿素含量的衰减明显减缓。