基于FPGA的CMP电涡流终点检测装置设计

为实现对晶圆表面金属层的化学机械抛光（CMP）过程中的终点检测和对抛光速率进行监控的要求,设计了一种基于电涡流测量原理的测量装置。该装置以FPGA器件作为控制核心,由其控制高速D/A转换器生成正弦交流信号,并驱动测量电桥。由于测量线圈产生的交变磁场在晶片金属薄膜上产生电涡流,引起测量线圈的阻抗发生变化。通过测量相应的阻抗变化产生的信号,可以计算出相应的晶片表面金属薄膜的厚度。实验表明该装置可以满足对晶圆表面100～1000nm厚度金属层的测量要求。     

鲁西北地区新农村社区规划设计问题

正山东鲁西北地区在当地各级政府的领导下,深入贯彻落实党的新农村建设的各项方针政策,结合当地实际情况,积极探索"合村建区"的新社区规划模式,得到了广大农民和领导、专家的高度评价。通过笔者的实地考察和调研来看,目前部分在建和建成并已使用的社区,规划的设计上还存在一些设计的具体问题,出现了一些不适应农村社区特殊功能需求的设计规划,这应引起设计师和负责农村社区建设的有关领导的关注。     

多零件轴孔精密过盈装配

为了实现多圆环零件的高精度轴孔过盈配合装配,研制了基于力传感器、光栅尺和工业内窥镜的精密装配及检测系统.设计了柔顺夹持机构,克服了被装配零件与模具装配孔之间的径向定位偏差所引起装配卡阻,提出了装配力/刚度位置补偿方法,在被装配零件外径有10μm制造公差的情况下实现了精确定位.对狭小无照明空间内零件的在线检测,应用内窥镜解耦视觉检测方法,通过控制内窥镜移动的光栅尺的位置信息和采集到的图像信息获得被装配环片的精确位置信息.装配和检测实验表明:圆环零件装配的误差在-9.4～6.1μm之间,内窥镜检测的不确定度在-1.7～8.2μm之间.所研制的系统能够满足圆环类零件的精密装配及检测要求.     

面向VLIW DSP结构的编译器的设计与实现

VLIW编译器实现指令并行性挖掘、相关性检查、指令调度等职能,对VLIW处理器的性能影响较大.本文基于一款VLIW DSP芯片,利用可重定位编译器IMPACT的前端和代码生成器模板,设计和实现了高性能的VLIW编译器.利用伪数据类型和Intrinsic函数结合,在编译器中构建了对SIMD功能的支持.实验结果显示,对比基于GCC版本的编译器,该编译器生成的指令数平均下降42%,并行包数下降30%.     

气相色谱-质谱联用法测定塑料产品中的溴系阻燃剂

溴系阻燃剂是目前全世界范围内使用的主要阻燃剂,常用的有十溴联苯醚、四溴双酚A、四溴双酚A-双(2,3-二溴)丙醚、六溴环十二烷、三溴苯酚、十溴联苯乙烷等。溴系阻燃剂的分解温度大多在200~300℃左右,与各种高聚物的分解温度匹配,因此能在最佳时刻以气相及凝聚相同时起到阻燃作用,阻燃效果好,且添加量小。但是越来越多的研究表明这类阻燃剂对环境造成了严重的污染,从而给人的健康带来巨大的危害。欧共体在2002年公布了《关于在电子电气设备中禁止使用某些有害物质指令》(RoHS:Restriction of Hazardous Substances 2002/95/EC),限制所有在欧盟市场出售的电子电气设备限量使用多溴联苯醚(PBDEs)和多溴联苯(PBBs)等溴系阻燃剂。采用气相色谱-质谱联用技术测定塑料产品中的溴系阻燃剂,方法满足欧盟指令的要求。     

10Cr9Mo1VNb钢冲击断裂机理

采用小能量示波冲击法和金相法，研究了10Cr9Mo1VNb钢冲击断裂时裂纹的萌生、生长与扩展．结果表明：10CrgMo1VNb钢裂纹生长机理是裂纹前沿和孔洞之间以颈缩聚合的方式相连，裂纹生长速率缓慢；裂纹扩展其机理是裂纹前沿和孔洞之间以剪切裂纹的方式相连，裂纹扩展速率很快．裂纹的临界破断为尺寸2mm左右，临界冲击功为114J左右。     

飞机机翼微小创伤修复模具的设计

针对飞机机翼被鸟击后的快速修复提出了简便、经济、精确的精模衬垫微敲修复法,该方法的关键是衬模设计,为此分析了机翼微小创伤的修复原理,提出了三种修复方案,并对比其优缺点,最终以木质叠板为衬模材料,三坐标测量仪为数据获取工具,数控铣床及磨床为加工设备的理念完成机翼衬模的设计,并得到实际应用验证,其结果良好能够满足修复要求。     

复杂环境下多飞行器的优化人工势能场运动规划算法

人工势能场运动规划一直是飞行器领域的热点问题,该算法的许多相关研究主要局限于二维简单环境下单机的运动规划,需要对复杂环境下的多机运动进行研究。该文提出了一种基于附加势能场、动态步长和动态排斥势能场的优化人工势能场多飞行器运动规划算法。首先,引入相对速度、相对距离和飞行转角等因子。其次,设置障碍物的有效边界约束,以降低势能场的复杂性。最后,将其扩展到三维复杂环境中,使飞行器在快速响应来自密集障碍物、相邻飞行器以及目标的刺激的同时,保持平稳路径直至完成任务。     

铁矿石浮选过程中矿物的交互影响及机理研究

复杂矿石浮选体系中矿物间会产生交互影响,研究了在油酸钠浮选体系中,不同粒级的磁铁矿、赤铁矿和石英的交互影响,并讨论了其机理。结果表明:-45+18μm粒级磁铁矿会显著降低赤铁矿的回收率,主要是因为微细粒级矿物消耗了大量捕收剂;-18μm粒级磁铁矿能够大幅度降低石英的回收率,其原因是-18μm粒级磁铁矿在石英粗颗粒表面发生了罩盖;不同粒级磁铁矿,对赤铁矿和石英混合矿浮选会有不同的影响,由于-106+18μm粒级磁铁矿被抑制进入浮选精矿,使浮选精矿铁品位略有提高,-18μm粒级磁铁矿降低浮选精矿铁品位与矿物罩盖有关。     

高效液相色谱法测定四溴双酚A-双(2,3-二溴)丙醚

采用高效液相色谱法测定塑料产品中的溴系阻燃剂:四溴双酚A-双(2,3-二溴)丙醚(TBBPA-bis)。样品经索氏提取后,经C18色谱柱分离,乙腈和水以95∶5(v/v)的比例混合作为淋洗液,220 nm波长检测。该方法的线性范围为0.1~10.0 ng/μL(r=0.9998);检出限为0.04 ng/μL;加标回收率为83.7%,相对标准偏差为3.8%(n=6)。该方法能准确、简便、灵敏的检测塑料产品中的溴系阻燃剂四溴双酚A-双(2,3-二溴)丙醚(TBBPA-bis),满足欧盟指令关于溴系阻燃剂的检测限量要求。