集成电路用磷铜阳极及相关问题研究

随着半导体技术的发展,铜互联技术在集成电路的设计和制造中成为主流技术,铜互连采用双大马士革工艺(Dual Damascene)进行电镀。集成电路用磷铜阳极在电镀过程中起着至关重要的作用,本文系统分析了磷铜阳极中磷的含量、铜的纯度、晶粒尺寸和氧含量等对集成电路电镀性能的影响。     

集成电路互连线用高纯铜靶材及相关问题研究

随着半导体技术的发展,芯片特征尺寸缩小到深亚微米和纳米时,铜互连技术在集成电路的设计和制造中成为主流技术,从而对高纯铜靶材的要求越来越高。从靶材制造的角度利用材料学的知识对铜靶材的晶体结构、纯度、致密度、微观组织及焊接性能等方面作了分析,并且较全面地分析了可能影响靶材溅射性能的很多关键因素,从而为靶材供应商和集成电路制造商对于铜靶材的了解搭建了桥梁,为进一步开发超大尺寸的高纯铜靶材打下基础。     

区域植被覆盖度的遥感监测——以济南市为例

植被覆盖度通常被用于反映地表植被的生长状况,是衡量地区环境质量是否良好的一个有效指标。本文以像元二分模型为基础解译遥感影像,可以更加方便地判断出当地的植被覆盖状况。由2001年和2013年的两幅济南市域的遥感影像进行解译得出结果,通过结果对比分析,发现在最近过去的12年中,济南全市的植被覆盖情况基本稳定,但在济南市域内不同的县(市)内,又表现出各自的特殊性。根据局地差异可以因地制宜的制定发展策略,促进济南全市的合理健康发展。     

室温下废旧石墨负极负载二氧化锰除甲醛性能的研究

废旧锂离子电池中的石墨负极附加价值低，回收后的石墨粉往往含有重金属、有机物等，对环境具有潜在的危害，亟需资源化的回收方法加以利用。经反复充放电后的废旧石墨负极表面含较多的官能团，结构的无序性增加，是良好的除甲醛材料，但其只能够通过吸附而无法催化降解甲醛。本文采用机械球磨法对废旧石墨负极材料进行改性，并通过水热法负载MnO₂制备得到石墨@MnO₂复合材料，在室温下实现甲醛的高效去除，甲醛去除率达97.58%。     

超低能耗装配式住宅外墙保温施工

为探索超低能耗装配式建筑外墙保温施工，以几个超低能耗装配式项目为参考，通过对节点位置进行研究，结合现场实际施工情况，从材料准备阶段、模板搭设阶段、墙体成形阶段几方面进行分析，解决超低能耗装配式建筑外墙保温在当前阶段施工的问题，总结的经验可对后续的施工起到指导作用。