排序方式: 共有34条查询结果,搜索用时 0 毫秒
31.
区熔法是生长单晶硅的重要方法之一,针对区熔法生长单晶硅过程因多晶硅熔化表面热量不均匀而出现“冷针”的问题,利用有限元法对生长区熔硅单晶进行了数值模拟。区熔法生长单晶硅采用高频感应加热,高频加热线圈是区熔炉最为关键的部件之一,线圈的结构、尺寸直接影响到磁场及焦耳热的分布及熔区形状。基于此,建立了有台阶线圈和无台阶线圈下的两种模型,对比了两种模型下熔区附近磁场分布和焦耳热分布,着重分析了高频加热线圈的台阶对磁场及焦耳热分布的影响。研究结果表明,高频加热线圈的结构会直接影响到熔区附近磁场的分布,进而影响熔区生成的焦耳热分布,线圈台阶可使磁场在熔区附近分布得更均匀,从而有效地解决了“冷针”问题。 相似文献
32.
33.
缓冲时间可调式限速切断阀的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文介绍了缓冲时间可调式新型限速切断阀结构的设计特点,并对其静、动态性能进行实验研究和数字仿真计算。 相似文献
34.
本文介绍了直控式电反馈比例方向阀的结构和工作原理,运用了位移—电反馈闭环控制原理和PID调节技术。采用动态数字仿真和试验研究手段,对影响阀性能的各参数进行了研究。并对调节器参数进行了优化,进一步提高了阀的性能。 相似文献