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反应式脉冲激光溅射淀积AlN薄膜化学稳定性研究 总被引:2,自引:0,他引:2
就反应式脉冲激光溅射淀积制备氮化铝薄膜的过程,讨论了激光脉冲能量密度及脉冲频率对所有制备薄膜结构性能的影响,并对薄膜的化学稳定性作了比较详细的研究,结果表明,当薄膜中存在有未反应的单质铝时,薄膜的化学稳定性较差。比较而言具有高取向性,择优生长的致密AIN微晶膜的化学稳定性优于结构相对疏松的非晶膜。 相似文献
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激光辐照温度场计算中的"像热源"研究 总被引:1,自引:0,他引:1
激光热作用研究中 ,通常只能采用纯数值计算方法研究异形工件激光热处理温度场 ,本文介绍轴对称像热源处理边界问题的半解析计算方法并给出实验证明。该方法适用于任意分布光束的热作用计算 ,当工件的局部边界由非正交平面构成时 ,可以获得满意的计算结果 相似文献
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