利用EGR技术生成薄膜

半导体制造工艺中的薄膜生长,迄今广泛应用的是热CVD法(Chemical VaporDeposition)和等离子CVD法,而这些方法是在高温状态下进行的,因此,对那些衬底耐热性较差或者经高温处理其性能和可靠性要降低的器件来说,利用这些方法有一定的困难。为了提高大规模集成电路、超大规模集成电路的性能、集成度和成品率,迫切需要一种能在低温下形成高质量薄膜的薄膜生长新技术。     

近期国外文献资料、专利题录选辑

综　述造纸用矿产及其市场　英国的工业矿产资源　莫桑比克的矿砂工业 [刊 ,英文 ]∥《工业矿物》 ,2 0 0 4( 8)化妆品用工业矿产　铸造用矿产市场及其展望　约旦的矿产工业 [刊 ,英文 ]∥《工业矿物》 ,2 0 0 4( 9)以上为知　非译石　墨石墨密封垫片的一种改良制法 [英文 ]∥U     

隧道式干燥室操作中应注意哪些问题

问：隧道式干燥室操作中应注意哪些问题? 　　答：隧道式干燥室是烧结砖瓦工业中非常重要的热工设备。当前,在烧结砖瓦工业中使用最多的人工干燥方式还是隧道式干燥室,无论采用页岩、煤矸石、粉煤灰、或者其它工业废渣、粘土;不论采用一次码烧工艺,二次码烧工艺,还是其它生产工艺方式,进行湿坯干燥的工艺基本都采用连续干燥,流水线生产,所用的干燥设备大部分为隧道干燥室。根据湿坯干燥过程中的热交换、热湿交换、湿交换的特点,按照隧道干燥室的基本工作原理和性能,本人认为,在干燥室的操作中应从码坯方式、进车速度、干燥送风量大小、排潮湿度大小、排潮温度高低、排潮量的多少等几个方面考虑,进行适时的调节和调整,并注意以下可能出现的问题。 1 干燥车码坯方式 　　湿坯在干燥过程中是依靠其与热气体的热交换和热湿交换进行的物理过程,干燥时,坯体表面的水分扩散到热空气中,坯体表面脱水速度的快慢,取决于坯体每个面周围空气量大小及气体流速快慢、气体温度的高低。码坯密度高的地方,通风空间较小,单位时间的通风量低、供给干燥所用的热量少,该处气体的湿度较大,脱水能力较弱,不利于湿坯与气体之间的湿交换,坯体脱水速度较低。码坯密度低的地方,通风空间较大,单位时间热空气的通风量高,供给干燥所用的热量多,脱水能力强,能够及时将湿坯周围的水分排走,使坯体表面和内部维持在较高的湿度梯度上,便于坯体内部的水分向表面扩散,使干燥过程具有较大动力,保证干燥过程在较高的速度下正常进行。所以,在干燥车上码坯的时候,应充分考虑干燥车中部和边沿所留空间的大小,尽量保证各处的空间基本均匀一致,这样,就能使干燥的成品质量基本相同。隧道干燥室中的干燥车是随着时间的推移而向前移动的,为了保证生产过程中车不与墙碰撞,也为了车上的湿坯变形后不碰撞侧墙,一般情况下,车边沿到侧墙面的距离为40～50mm(4～5cm),这一距离大于车中部坯垛中各坯之间的间距,如果要获得较好的效果,应将该距离缩短为30mm。码坯时应注意将湿坯尽量码到干燥车的边部,使中间坯体之间有较大的距离,较小的空气流动阻力,做到断面上各处的流量基本一致,有可能的话,使车中间的码坯密度小于车边部,这样就能获得良好的干燥质量和较快的干燥速度。 2 干燥进车速度 　　干燥室的干燥进车速度是根据湿坯干燥快慢的程度确定的。当生产所用原料、生产规模、干燥室长度、干燥室条数确定以后,该干燥室的干燥周期就确定下来了,它是一个比较稳定的值。只有当原料和工艺参数发生较大变化时,才随着发生较小的波动。干燥进车的快慢,直接影响到干燥室中的干燥制度,若某一条干燥室的进车速度过快,则该条干燥室中坯体的干燥周期就缩短,如果通风量和通风温度不变,排潮量和排潮湿度不变,干燥室中的温度制度和湿度制度就会发生变化,使干燥曲线发生偏移,湿坯不能排出多余的水分,出干燥室的干坯含水率不能达到生产要求,使干燥废品率上升。若调整该条的各种热工参数,其它干燥室的参数也要作出相应调整,这样使得干燥室的工作制度极不稳定,不利于干燥的正常进行,也不利于干燥质量的稳定。所以,在干燥室进车的操作中,应按照预先确定的进车规律均匀进车,定时定量将干燥车推入每一条干燥室。 3 干燥室送风量的调整 　　干燥通风量越大,空气温度越高,干燥速度就快,反之干燥速度就慢,这是制品干燥过程的基本规律。在干燥室操作中,可以通过给干燥室中送入大量的热空气来提高坯体的干燥速度,但不能无限地提高。由于受到原料自身性能的影响,在干燥临界点以前,坯体脱水后要产生较大的收缩,产生一定的内应力,坯体的脱水只能依一定的速度进行干燥越快,收缩越大,内应力越强,当内应力的大小超过坯体强度后,坯体就会产生裂纹,内应力愈大,产生的裂纹也就愈长愈宽。在临界点以后,坯体已经停止收缩,排出其中的水分后,只增加了坯体中的孔隙率,减小了坯体的体积密度,坯体内部没有内应力产生,不会使坯体产生裂纹。这时,可以采用大风量高温度的方式,快速排出坯体中的水分。所以,在调整隧道干燥室的进风量时,要根据每条干燥室的均匀进车情况进行。首先,使每条干燥室的进风量相等。其次,根据临界点的具体位置,确定送风的位置和大小。第三,严格控制临界点以前的进风量和干燥速度。第四,按照原料基本性能和设计要求,控制进入干燥室的气体温度。气体温度不能太高也不能太低,太高则会使临界点以前的坯体干燥过快,产生干燥裂纹,温度太低则总热量达不到干燥要求,使出干燥室的坯体不能排出应排的水分,达不到干燥的目的。第五,要控制进入干燥室的气体湿度,湿度过大会使其脱水能力下降,不能使坯体干燥。上述两种情况都会使干燥制度发生较大变化。 4 排潮量大小的控制 　　排潮量大小要根据坯体的干燥速度确定,排潮量大时,就会加快坯体的干燥,排潮量小时,坯体的干燥速度就会减慢,要使干燥过程能顺利进行,就必须使干燥室中的排潮量维持在一定的水平上。所以,在排潮量控制时,要根据坯体干燥情况决定。第一,如果干燥室进车端的前面几辆车上的坯体有回潮现象出现,就说明排潮量不够,没有及时将坯体蒸发出的水分带走,使空气中的水分重新凝结于坯体表面。这时,要适当调整干燥室中的排潮设备,选择合适的排潮位置,使潮气能及时地排出干燥室。第二如果干燥室进车端前几辆车的坯体有裂纹出现,则说明干燥室中的排潮量过大,排潮速度大于坯体内部水分的扩散速度,使坯体产生了较大的内应力。这时,应适当调整通风设备的通风量大小和通风位置,使排潮量降低。 5 排潮温度和湿度 　　当干燥室进车端出现回潮现象时,表明排潮量较低排潮湿度过大排潮温度低,这时应适当增加排潮量,提高排潮温度,减小排潮湿度。当干燥室进车端内的坯体有裂纹出现时,表明排潮湿度较低排潮量过大排潮温度太高,应适当减少排潮量提高排潮湿度降低排潮温度。     

透视互联网的年轮——网页制作软件面面观

<正> 互联网是一棵有生命的树,因为有亿万人相信它的勃勃生机;互联网是一棵有四季的树,虽然它曾经浓荫蔽日,可是一样也会走进冰天雪地、愁云惨雾的严冬;岁月荏苒,风雨蹉跎,当互联网逐渐长大的时候,回首过去,我们能做的最好就是——     

利用NOAA卫星遥感编制中国东北部土壤水分分布图

一、前言土壤水分遥感可依据可见近红外、热红外和微波等遥感谱段的信息进行研究。其中,基于最重要的物理模型是热惯量模式的研究。但是,在过去的研究中对其物理意义认识不足,因此,宇都宫和山口(1986,1987)以及Utsunomiya(1988,1989)等学者作了进一步地研究与改进(宇都宫1990)。近些年来,由于大气中CO_2不断增加而气候趋于温暖化,受此影响,可预测未来土壤水分趋于严重不足(Manabe et al.1981),这是众所用知的气候变迁的重要问题。为了研究更大区域的土壤水分分布状态,开发测定土壤水分变化的方法,本次以地处中国东北部的吉林省为中心,进行了区域土壤水分调查,现将阶段性调查研究结果报告如下。本研究得到了中国科学院长春净月潭遥感实验站的大力支持和协作,因此,本成果是日中科学工作者共同协力完成的。     

富士通MB81256型256k DRAM

256k DRAM研制背景 自从1970年1k位器件开始被研制出来后,MOS DRAM的集成密度大约以每3年增长4倍的速度不断发展。实现这样高的速度原因,是由于器件的高可靠性化和批量生产使成本降低,而且需要量大这两大因素促成的。特别是在16k位器件时代中,世界上