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为寻求真空磁控溅射ZrN膜耐蚀性与其溅射工艺间的规律,在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面以不同的工艺参数真空磁控溅射了系列ZrN膜。通过中性盐雾试验确定了不同工艺参数所得ZrN膜的耐蚀性等级。结果表明:ZrN膜耐蚀性随N2流量的增加先增加,但超过15 mL/min后,膜的耐蚀性反而下降;ZrN膜耐蚀性随反应温度升高而增强;ZrN膜的耐蚀性随反应时间的增加越来越好,但超过15 min后,膜的耐蚀性不再增强;以ZrN膜的耐蚀性为依据,最佳溅射工艺参数为N2流量15 mL/min,反应时间15 min,反应温度200℃。 相似文献
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针对金相试样的特殊要求,对金相试样的切割技术和磨削过程进行了研究。提出了采用逐层切割和进三退一的多种切割方式切割试样。保证了金相试样的切割质量,提高了切割机的切割能力。控制系统采用PID控制变频调速器实现了砂轮片转速的无级可调和自动控制,提高了切割机的控制精度,增强了切割不同材料的适应性。 相似文献
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