化学机械抛光中抛光垫修整的作用及规律研究

抛光垫修整是化学机械抛光的重要过程之一.修整后抛光垫的性能主要由修整器的性能和相关的工艺参数决定.本文介绍常用金刚石修整器的颗粒性能、胎体材料及相关工艺参数,总结金刚石修整器在不同条件下对修整性能的影响规律,发现:金刚石颗粒的类型影响修整效率,RAS越大,修整效率越高;颗粒尺寸的增大有利于提高修整效率;粘结力的增大,可以提高修整效率和使用寿命;颗粒的均匀排列有助于抛光垫表面沟槽的形成;使用陶瓷作为胎体材料,可以提高使用寿命;修整压力及转速的增大,可以提高修整效率;修整温度会对抛光垫的沟槽、微孔及硬度产生影响,温度的升高,可以改善修整质量;修整密度越大,抛光垫的磨损率越高.最后对金刚石修整器的发展趋势做出展望.     

基于图卷积网络的乘客打车需求预测

乘客打车需求具有非线性和动态性的特点。为了提高乘客需求预测的准确性,需要充分考虑城市区域间的时空特性。针对城市中乘客的打车需求预测问题,利用图卷积网络(graph convolutional network, GCN)和长短期记忆单元(long short-term memory, LSTM)建立GCN-LSTM预测模型。在分析城市区域间时空特性的基础上,基于动态时间规整算法(dynamic time warping, DTW),将具有相似时空特性的区域重组并构建乘客打车需求图,利用图卷积网络提取需求图的空间特征;运用基于LSTM的编码器捕捉区域的时间特性;运用基于LSTM的解码器实现乘客打车需求的多区域同时、多时间步长预测。通过与传统模型的对比实验表明,本文提出的GCN-LSTM预测模型的均方根误差、平均绝对百分比误差和平均绝对误差最小,验证了所提出模型的预测准确性。     

砂带磨削技术在硬质石材加工中的应用

砂带磨削是六十年代发展起的先进机械加工方法之一。它具有加工效率高、“冷态”磨削、磨削速度稳定、磨削精度高、磨削成本低等特点,在机械制造中占有愈来愈重要的地位。本文对砂带磨削技术在硬质石材加工中的应用研究进行综述。     

硅晶体线切割加工过程中切割线振动的研究

硅晶体线切割的加工过程中,切割线振动的产生严重影响着晶体工件的加工精度和质量以及切割线的寿命.本文介绍了当前研究切割线振动的主要方法及主要成果,并建立了切割线的运动方程,分析了磨粒对切割线的激励,通过模态分析得出系统的响应函数.     

LiTaO3晶片CMP过程的化学去除机理研究

通过化学腐蚀方法研究了liTaO3(LT)晶片的化学机械抛光的化学腐蚀机理,研究了LiTaO3单晶的化学机械抛光过程腐蚀作用的主要影响因素及其影响规律,获得了LiTaO3晶片CMP过程有效的氧化剂和稳定剂.采用X衍射测量抛光表面的结构变化,分析了晶片表面在不同抛光液条件下发生的变化.研究结果为优化LiTaO3 CMP工艺参数,进一步探讨化学机械抛光机理提供了依据.     

有机玻璃激光气化切割前沿

以PMMA(有机玻璃)为试件,采用CCD拍摄到CO2激光气化切割前沿的照片。研究焦点位置、切割速度和激光功率对切割前沿形状和前沿深度的影响,并建立激光能量耦合模型。结果表明,由于前沿存在多次反射,使得切割深度增加。正离焦切割时,前沿吸收的总激光功率密度减小,切割深度减小;负离焦切割时,最大激光功率密度值的位置下移,使得前沿功率密度分布朝着深部推进,切割深度增加,若负离焦量过大,表面光斑直径和光程增加,更深位置的功率密度减小,切割深度减小;随着激光功率增加、切割速度减小,则前沿弯曲程度减小,被激光直接照射的前沿部位增长,前沿吸收激光功率密度增加,切割深度增加。     

一种新型翻粮装置的设计与研究

对于粮仓内粮食的定期翻整,传统的人工翻粮、挖沟方式具有劳动强度大、工作效率低以及部分粮仓并不适合人工作业等多种缺点,针对这些问题设计了一种机械翻粮装置,该装置可提高粮仓作业的机械化程度和工作效率。其装置包括支撑架、翻粮机构、调节组件以及驱动装置。该装置可以实现粮仓内的粮食的定期翻整及在仓内粮食任何发热部位实现发热点翻粮散热及排湿。     

激光制备微热管传热分析与沸腾实验研究

电子自动化理论研究逐步深入以及电子产品更新速度加快,散热问题日益严峻。为了研究激光制备针翅平板微热管的传热性能,首先采用理论建模确定针翅结构,然后使用MATLAB软件计算出其最优解,再通过激光制备针翅平板结构,最后通过沸腾单因素实验验证其计算出的最优解对针翅平板微热管传热性能的影响,并以温差作为评价针翅平板微热管传热性能指标。结果表明:当针翅结构高为0.3mm,宽为0.2mm,横向间距0.3mm,纵向间距0.3mm时,平板微热管的传热性能最佳。     

面向跨模态通信的信息恢复技术

针对多模态数据在传输过程中丢失、受到无线信道噪声污染而严重影响跨模态通信质量的问题,提出了一种面向跨模态通信的信息恢复技术,通过充分利用接收端已有数据,采用同模态一对一检索、跨模态一对一检索、跨模态一对多检索等方式,在接收端进行信息恢复.所提方法在公共数据集以及实际跨模态通信平台上进行验证,实验表明,该方法可以实现精准的信息恢复,有效提升了跨模态通信质量.     

液体辅助激光加工过程中压力检测及应用研究进展

液体辅助激光加工是一种复合制造技术,凭借其特有的特点及优势,在相关领域受到广泛的关注和应用,同时也成为激光与液体介质相互作用研究领域的一大热点。本文综述了液体辅助激光加工过程中冲击波和高速微射流的压力研究现状,简述了液体辅助激光加工过程中压力现象产生的机理、压力的基本特征以及影响压力的因素,重点介绍了液体辅助激光加工过程中产生的冲击波、微射流等冲击压力的检测方法和最新研究进展,并对各检测方法的特点做出总结。最后介绍了液体辅助激光加工在相关领域的应用,并对该技术的发展前景作出展望。