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32.
33.
CMP加工过程中均匀去除率的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
种宝春 《电子工业专用设备》2007,36(1):58-61
半导体制造技术已经达到了亚微米技术水平,CMP(chemical mechanical planarization)化学机械抛光是IC制造工艺中进行全局平坦化唯一的途径,分析了针对大直径晶圆进行全局平坦化,达到面型精度和表面完整性的要求而采取的区域压力控制技术。 相似文献
34.
Rapeta V. V. V. J. RAO T. C. CHONG L. S. TAN W. S. LAU N. LIM 《International Journal of Electronics》2013,100(9):1039-1050
Low temperature (LT)-grown GaAs and Al0.3Ga0.7As metal-insulator-n+-GaAs (MIN) diodes have been fabricated and their electrical properties analyzed. Studies were carried out to evaluate the interfacial quality of the LT layer and the underlying n+-GaAs layer using transient current spectroscopy (TCS) and capacitance-frequency (C-f) characterization. TCS studies on LT-GaAs revealed a high concentration of a continuum of states anda dominant electron trap with an activation energy of 0.52eV. In LT-Al0.3Ga0.7As, a shallow trap at 0.36eV and two deep level traps at 0.85eV and 1.12eV were observed. Frequency dispersion was observed to be less for LT-GaAs samples with an AlAs barrier layer than without an AlAs barrier layer. However, LT-Al0.3Ga0.7As MIN diodes displayed a smaller frequency dispersion than LT-GaAs MIN diodes. Upon further investigation into MISFET devices, it was found that LT-Al0.3Ga0.7As MISFET devices had better transconductance frequency dispersion characteristics than LT-GaAs MISFET devices did. 相似文献
35.
漏空气对凝汽器传热性能影响的实验研究 总被引:7,自引:1,他引:7
通过凝汽器传热性能实验,研究了凝汽器热负荷和漏空气量变化时凝汽器压力、传热系数和端差的变化规律,得到了各参数变化对应的临界空气相对含量值。实验结果表明,当空气相对含量小于相应临界值时,凝汽器传热性能受空气相对含量变化的影响较小,即随空气相对含量增加,压力和端差缓慢增加,传热系数略有减小;反之,当空气相对含量大于相应临界值时,凝汽器压力和端差迅速增大,传热系数急剧下降。尽管不同凝汽器热负荷下各性能参数变化对应的临界空气相对含量值各不相同,但变化不大,均在1%左右。这为进一步定量研究漏空气对凝汽器传热性能影响奠定了一定基础。 相似文献
36.
Domino系统提供了丰富的类和:于法来支持其与异构数据库进行数据交换,本文通过分析基于Domino系统办公自动化系统信息共享的特点,探讨了Domino系统的三种异枸数据交换方法,对三种方法不同的特点进行了分析,并就其具体实现选行了描述。 相似文献
37.
合成了化合物2-苯基-5-(4-溴甲苯基)-1,3,4-噻二唑(PBrMPTDA),并以其作为引发剂、PMDETA/CuBr为催化剂、环己酮为溶剂,实现了苯乙烯的原子转移自由基聚合(ATRP).一级动力学曲线证明该聚合反应符合"活性"/可控自由基聚合,同时讨论了配体用量、温度和引发剂浓度对聚合速率的影响,发现在100℃下n(St)/n(PBrMPTDA)/n(CuBr)/n(PMDETA)=200/1/1/1能较有效控制苯乙烯的原子转移自由基聚合,所得聚合物相对分子质量分布(mw/mn)较窄(1.22~1.50).对聚苯乙烯的荧光光谱研究发现,端基功能化的聚苯乙烯在390nm处有很强的荧光. 相似文献
38.
用粉末,台金法制备W-La2O3合金,在高能电子束轰击下对其进行高温热负荷循环模拟试验。结果表明,在8Mw/m。(脉冲2s)条件下,w-La2O3合金经受100次热负荷循环后,表面出现有微观裂纹,微裂纹沿钨晶粒晶界呈现出网状,微裂纹并未扩展形成宏观裂纹,表面无明显损伤。电子束热负荷循环后W-La2O3合金组织结构变化不明显。热负荷循环未造成材料的熔化飞溅和蒸发,质量并未出现明显变化。W-La2O3合金表面熔融,硬度值增加,基体硬度未出现较大变化。 相似文献
39.
Atizetmuller和Buchtela等采用醋酸纤维素膜(CAM)作支持体研究了希土与α-HIBA体系中的电迁移行为。本文在文献[6]的基础上,对Eu的电迁移行为的影响因素:电解质浓度、端电压、离子强度、电解质的pH、电迁移时间、冷却水温度、原始料液的酸度和外来离子等进行了研究。还测定了采用推荐程序时Eu的电迁移速率、Eu与α-HIBA一级络合物的稳定常数。 相似文献
40.
4326超长综放面矿压显现规律分析 总被引:2,自引:0,他引:2
以现场矿压观测资料为基础 ,结合矿山压力理论对国内第一个超长综放面来压规律及特点进行简单分析 ,初步掌握了超长综放面的来压规律 ;并从来压步距、强度、支架压力及运行状况等方面与普通综放面进行对比分析 ,得出超长综放面有别于普通综放面的来压特征 ,可为今后设计、布置和回采类似工作面提供科学依据。 相似文献