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Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
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评述了ISO 5 75 5“烧结金属材料—规范”和美国MPIF标准 35的变迁和趋向统一。阐述了“最小强度值”的意义。说明了我国粉末冶金结构零件材料标准的现状 相似文献
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基于充放电原理实现的微电容测量电路 总被引:1,自引:0,他引:1
具有抗分布电容以及简单实用等特性的充放电电路是目前微电容测量中广泛采用的一种测量电路。本文对基于充放电原理的微电容测量电路进行了深入研究,并介绍一种基于充放电原理的实用电路。 相似文献
94.
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含氯取代基的聚间苯二甲酰间苯二胺的合成与表征 总被引:7,自引:0,他引:7
以 2 ,5 -二氯对苯二甲酰氯作为第三单体 ,将其与间苯二甲酰氯、间苯二胺在N ,N -二甲基乙酰胺中进行低温溶液共缩聚反应 ,合成了含氯取代基的聚间苯二甲酰间苯二胺。研究了单体摩尔浓度、反应初始温度、叔胺添加剂种类、第三单体用量等对共聚物相对分子质量的影响 ,并用红外光谱、热重分析等方法对共聚物进行了表征。 相似文献
96.
97.
济钢燃气厂针对济钢转炉煤气储存加压系统的设备现状,组织了一次设备大修,大修后煤气柜升降速度提高到了1.0m/min,并解决了加压机前负压等问题。 相似文献
98.
介绍了黄河上游龙青段主要环境工程地质问题的分析思路,以达到抛砖引玉,交流和提高电工程地质勘测水平的目的。 相似文献
99.
减压渣油与FCC油浆共炭化的化学组成变化 总被引:6,自引:2,他引:4
考察了齐鲁石化胜利炼油厂催化油浆(FCC)和胜利减压渣油(VR)在490℃,0.8MPa下不同混合比的原料和不同反应时间的中间产物的HS、TS、PS、P及其1h中间产物的HS和TS的^1H-NMR。数据结果反映了体系的反应速度。掺入FCC油浆抑制了VR的反应活性,降低了体系的反应速度,增加了基质的溶解度;1h中间产物的组成结构更接近于原料及反应体系的反应性和基质的溶解度;1h中间产物的芳香度越高,取代基越少,侧链越短,基质对VR中的活性反应组分在炭化早期生成的高度缩合物质的溶解度越大。 相似文献
100.