用于VLSI的注入氮化物特性

本文描述了在VLSI研制中通过氮注入形成氮化硅层。在形成各种氮化物层的过程中,注入分子氮能量范围为5到60keV,随后在1000℃的氮中退火。描述在炉中退火前后所形成的氮化物层特性,在不同的IR、SIMS和椭圆对称测量情况中找出局部氧化掩模的有效注入条件。相对于整个注入能量范围,注入氮的最初IR峰值为815cm~(-1)。对于退火后的高能量注入来说该位置会漂移到一个较高的波长数,低能量注入峰值接近于830cm~(-1),上述均与LPCVD为氧化物峰值相比而言。此研究结果认为,低能氧化物的化学成分几乎是可用定量计算的。退火过程中浓度分布向着表面漂移,并将增高峰值区氧的浓度。从氮化物分布剖面看最大值是在表面,而在<10keV时消失。在1000℃的蒸汽中生长5300(?)氧化层进行测试这些氮化物掩模特性。剂量为5×10~(16)N_2~+/cm~(-2)离子的氮化物在注入能量低于40keV会形成有效的氧化掩模。在此实验条件下,在10keV下所形成的氮化层可认为是一个有效的氧化掩模,足以适应选择性地腐蚀SiO_2,减小“鸟嘴”尺寸为常规LOCOS的四分之一。     

智能工程与控制技术：历史,发展与未来

本文综述了智能工程和控制技术的发展历程和基本问题。文中着重论述了人工智能在过程控制系统中的必要性及开发实时智能控制系统的步骤；对符号推理系统、耦合推理系统、人工神经网络和集成分布式智能系统的特点和局限进行了比较。最后讨论了计算机集成过程系统（ＣＩＰＳ）的基本问题、基础技术和发展前景。     

加利福尼亚州旧金山海湾南部高分辨率地震反射剖面上的声波横向变化被错误地解释为全新世海湾软泥的断层错断

1992年和1993年我们在旧金山湾南部进行了高分辨率地震反射剖面采集,以调查沿假定的横穿海湾的基岩断层带上在全新世是否发生过断裂作用。最初的模拟记录在沿陡峭垂直边界上出现有反射束的视断错。起初将这些记录解释为在全新世海湾软泥上部10米(0.013秒双程旅行时)内沿密集陡峭垂直边界的复合断层组的显示。后来在1994年采用震源功率较高的不同的地震反射仪器又进行了测量,这种仪器生成的地震记录穿透深度较大(最大达20米,相当于0.026秒双程旅行时),其结果证明原来被解释为因断层作用而形成错断的反射波实际上是来自横向连续的反射层。最初解释中的这种陷井是由于反射同相轴振幅强度横向变化,同时使用的仪器功率较低而震源信号过长(大于15毫秒)引起的。当这些因素结合在一起时使得反射束沿陡峭垂直边界出现视断错。实际上如果使用第二种仪器,这些垂直边界出现在横向连续的反射同相轴的反射振幅突然降低的那些地方。反射振幅的这种明显的横向变化可以归因于在局部地段上存在生物(?)气体。     

用x-t域预测反褶积法压制长周期多次波

用常规反褶积压制周期长于100毫秒的多次波时,有两种系统误差。一种误差是时窗效应,它是由根据数据的有限部分计算实际自相关函数而引起的。另一种误差是周期性假设所引起的,这种假设只有在一维介质、零偏条件下才能成立。误差的幅度随多次波周期长度的增加而增加。本文描述并证实了一种能克服常规一维法中两种系统误差的预测反褶积方程的精确二维解。该法可用于简单波场系统或捕波系统以及复杂或微屈多次波中。该方法并不要求将时窗设计成算子大小的6～10倍,在较大的传播角内均很精确。从经典预测意义上看,该法所用的公式是严密的。     

快重离子在石墨中引起表面及体径迹的STM研究

用多种快重离子辐照高定向石墨（HOPG），借助扫描隧道显微镜（STM）系统地研究了表面及体内缺陷，结果表明，离子在表面及解理面上都形成了小丘状的缺陷，且在表面较容易形成，可以用非连续损伤径迹结构来对其进行解释。     

数值模型在地下采掘设计中的应用(二)

离散元法在通常描述为块状构造的岩层状态下(在块状构造中节理的间距与开挖尺寸为同一数量级),相交的节理使岩体分成块状和楔形岩块,这些岩块可认为是刚性。这就是说,     

如何选择不同类型的锂原电池

在过去１０年内，不可充电的锂电池（原电池）已成为主电源和备用电源通常使用的碳锌电池、碱性电池和其他商用电池的优良替代物。锂电池．不管是锂氯化亚硫酸电池，还是锂二氧化硫电池或锂二氧化锰电池，都具有异常宽的工作特性。这些特性使得锂电池特别适合用作各种需要放电率低且能可靠地工作好几年的不同备用电源。锂电池还非常适用于以下一些场合：需要适中的或很高的连续供电或变化很大的中间脉冲供电场合；要求每个电池有很高工作电压的场合；以及从平坦的放电特性中得到好处的场合。如果您需要优异的能量密度，需要电池在很宽的工作…     

东亚和东南亚发展中国家乳品消费,生产和贸易趋势

概括地叙述了东亚和东南亚国家乳制品消费、生产和贸易的发展情况。作者认为经济的发展，与世界其它地区饮食习惯同化两者共同刺激了本地生产和进口，从而使这些国家的乳和 消费出现了增长。