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991.
激光清洗硅片表面Al2O3颗粒的试验和理论分析 总被引:2,自引:5,他引:2
以KrF准分子激光器为激光源,对目前工业上常用的硅片研磨抛光液的主要成分Al2O3颗粒进行激光清洗的试验和理论分析。建立一维热传导模型,利用有限元分析软件MSC.MarC模拟硅片表面的温度随激光作用时间和能量密度的分布。通过理论计算,量化了颗粒所受到的清洗力以及其与硅片表面之间的粘附力,理论预测出1 μm Al2O3颗粒的激光清洗阈值为60 mJ/cm2。在理论分析的指导下,利用248 nm、30 ns的KrF准分子激光进行单因素试验,研究激光能量密度、脉冲个数、激光束入射角度对激光干法清洗效率的影响,并且实验验证了清洗模型以及场增强效应对激光清洗结果的影响。 相似文献
992.
针对微细铣削不同于常规铣削的特点,建立了微单元正交切削模型,分析瞬时刀具受力情况。以切削深度、切削宽度、主轴转速及每齿进给量作为输入,铣削力在x、y、z三个方向的分量作为输出,建立了MATLAB瞬时铣削力的预测模型;同时分析了模拟结果与实验数据之间产生误差的原因,对细微铣削加工的协调问题进行深入分析与综合研究,具有重要的理论意义和现实意义。 相似文献
993.
994.
995.
996.
997.
采用有限元法对静力触探探头传感器的弹性元件进行分析。用此法不仅可以得到弹性元件的应变分布特性,确定应变片的最佳贴片位置,而且可以得到不同载荷下相应节点的应变值。由电压与应变之间的关系式最终可以得到输入载荷与输出电压之间的关系,从而分析出传感器的线性性能。分析结果表明.此传感器的线性度很好,能满足使用要求。 相似文献
998.
针对在UG中建立的管式摩托车结构模型,研发了适用于空间复杂管式车架有限元建模自动前处理软件和后处理软件,先将车架空间模型、车架板件等结构件自动导入ANSYS软件中,并在此基础上建立摩托车整车有限元模型。ANSYS计算分析完成后,经过后处理可为用户提供单元数据列表、各单元和截面内力,以及最大应力截面和最大应力方位。在应用中,某跨骑式125摩托车采用传统方法建立有限元模型需要6个工作日,使用该方法只需1.5小时,并通过实测验证了摩托车有限元模型的合理性。为工程技术人员提供了一套简易、实用的建立整车有限元模型和求解的通用方法。 相似文献
999.
针对套圈生产中表面经常发现的准圆形或长圆形黑点状缺陷进行宏观检查和金相分析,在材料内部没有检测到相应的组织缺陷,确定这些缺陷为套圈表面的小孔腐蚀.介绍了小孔腐蚀的特点及其形成机理,进一步对小孔腐蚀缺陷进行了再现试验,发现与上述套圈表面出现的缺陷一致.结果表明:在一定温度、湿度和侵蚀性阴离子(如Cl-)存在的条件下,套圈表面极易发生小孔腐蚀. 相似文献
1000.