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采用自行研制的LB自动提膜装置,制备出大面积(10×8cm2)、高质量的PMMA超薄抗蚀剂膜,并将其用于高分辨率铬掩模版的研制。通过电子束曝光,湿法蚀刻,制作了分辨率优于0.5μm,特征线宽0.38μm的4(100mm)铬掩模版。 相似文献
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本文运用根轨迹法,分析了感应电动机转速对定子电流暂态过程的影响。并通过对稳态时定子电流在电压阶跃干扰下的暂太响应分析,验证了结论有效性。 相似文献
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Conventional drying, dehumidification drying, and combined conventional-dehumidification drying of wood were experimentally studied in this article. The results showed that the energy consumption in the dehumidification drying is the least but its drying time is the longest. The energy consumption in the combined drying is more than that in the dehumidification drying but less than that in the conventional drying, and the drying time is half of that in the dehumidification drying. The advantages of the combined conventional and dehumidification drying are discussed from the experiments results. 相似文献
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高能超声处理Al-1Si合金凝固组织分析 总被引:3,自引:2,他引:1
采用高能超声处理Al-1Si合金熔体,借助金相显微镜和电子探针进行组织分析,并测定合金的熔化潜热,分析了熔体中超声空化效应和声流效应影响凝固过程的机理。结果表明,试样晶粒平均尺寸由超声处理前的94μm减小到超声处理后的34μm;合金试样的熔化吸热量由263.90J/g降低为159.81J/g,在熔体中施加高能超声显著改善了合金成分的均匀性并细化了晶粒。 相似文献
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糠粞分离是米糠油制取的重要工序之一。从提高经济效益,保证正常生产,降低残油和溶耗3个方面阐述了糠粞分离的必要性。介绍了风选和筛选两种糠粞分离方法及各自的优缺点。并着重介绍了风力式糠粞分离系统的工艺设计及设计、安装、操作的关键点。 相似文献
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本文介绍了一种对研究发动机燃烧过程有着重要应用价值的实验技术-时间分幅全息技术,本文就该技术中常常出现的重影问题做了重点研究,通过分析重影出现的根源,找到了一种消除重影的新方法,文章还举例说明了该技术在液体破碎机理问题保研究中的应用。 相似文献
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