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隧道小孔中超薄SiO2的生长是EEPROM电路制造的关键工艺之一。采用SUPREM-Ⅲ工艺模拟程序对超薄SiO2的热生长进行了工艺模拟,经过大量的工艺实验及优化,确定了超薄SiO2的最佳生长条件,生长出的SiO2性能良好,完全可满足EEPROM研制的要求。 相似文献
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为了讨论了问题方便,定义了两种P-N:“漏P-N结”和“单纯P-N结”。分析了二者击穿电压相关因素的差别,认为“漏R-N结”击穿电压与沟道区杂质浓度密切相关。EEPROM的研制中,要求“漏P-N结”击穿电压≥20V,即沟道区杂质浓度要低到一定的程度,而同时又必须保证一定的开启电压,即沟道区杂质浓度要高到一定的程度,通过分析与实验,提出了解决这一矛盾的通用原则。 相似文献
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家庭网络中的无线传输技术 总被引:4,自引:2,他引:2
1引言众所周知,有多种传输方式可用于家庭网络的构建。大致来说,可分为有线传输与无线传输两大类。相对于有线传输而言,无线传输的主要优点是不需要布线,因而可在短时期内普及家庭网络。另外,一些新的无线传输技术已可提供较高的带宽,从而能满足家庭网络的多媒体传输要求。最后,由于移动通信市场需求的推动,无线传输技术在近两年内发展迅速,有利于其产品进入家庭。迄今,瞄准家庭用途的各种无线传输方式多半使用两种频段:2.4GHz及5GHz。属于前者的有HomeRF,IEEE802.11b,IEEE802.11g,Bluetooth1.1/… 相似文献
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