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MEMS THz滤波器的制作工艺 总被引:2,自引:0,他引:2
基于MEMS技术制作了太赫兹(THz)滤波器样品,研究了制作滤波器的工艺流程方案,其关键工艺技术包括硅深槽刻蚀技术、深槽结构的表面金属化技术、阳极键合和金-硅共晶键合技术。采用4μm的热氧化硅层作刻蚀掩膜,成功完成了800μm的深槽硅干法刻蚀;采用基片倾斜放置、多次离子束溅射和电镀加厚的方法完成了深槽结构的表面金属化,内部金属层厚度为3~5μm;用硅-玻璃阳极键合技术和金-硅共晶键合技术实现了三层结构、四面封闭的波导滤波器样品加工。测试结果表明,研制的滤波器样品中心频率138GHz,带宽15GHz,插损小于3dB。 相似文献
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建立了具有非线性刚度弹簧的摩擦振荡系统的动力学模型,利用变步长的四级四阶Runge-Kutta算法和Poincar啨映射方法,对一类摩擦振荡系统参数进行仿真,证明了摩擦振荡系统中存在倍周期分岔、Hopf分岔和阵发性分岔,并且给出了发生倍周期分岔、Hopf分岔和阵发性分岔及通向混沌道路的具体参数和形成过程。通过分析摩擦振荡系统的分岔与混沌行为,表明选择适当的系统参数组合,可避免系统在运行过程中出现概周期甚至混沌现象,降低噪声,改善工作环境。 相似文献
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欢8块1980年底投入开发,经过30多年开发,欢8块目前面临着区块含水上升,老井产量递减幅度加大等问题,开发形势十分严峻。本文针对区块目前存在问题,采用井震结合,VSP技术多种方法重新认识区块构造,在局部构造微高点侧钻,挖潜剩余油,分析水淹范围挖潜井间剩余油。 相似文献
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当外部激光被反射回激光内腔时,反馈光与激光器腔内光混合,调制激光器的输出功率和频率,通过信号处理可以得到物体运动的多普勒频率,从而计算出物体的运动速度。基于这种特性,设计出一种激光自混合干涉仪,为了知道该技术是否适用于变速测量,对激光自混合用于变速运动物体的速度测量进行了探索。基于激光自混合三镜腔模型,建立了激光自混合用于变速测量的数学模型,提出了基于该模型的特征参量提取方法,该方法基于离散Chirp-Fourier变换理论。对激光自混合输出信号进行离散Chirp-Fourier变换,变换结果的主瓣坐标反映了物体运动的速度及加速度信息。最后,对该方法进行了仿真分析,在SNR=0 dB和SNR=7 dB的情况下,能较好地获得物体的速度和加速度信息。因此,仿真试验证明:该方法在较低信噪比的情况下仍能有效提取物体的速度及加速度信息。 相似文献
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针对EPC物联网络系统中存在的时变与不确定性时延问题,建立了EPC物联网络系统的控制模型,假设系统中的时延满足一定的结构性要求下,研究了EPC物联网络控制系统的H∞控制问题。基于LMI方法,可以很方便地求出状态反馈控制器,并可使闭环系统具有良好的动、静态性能。数值算例及仿真结果证明了所得结论的有效性。 相似文献