显微物镜的传递函数测量

本文详细叙述了显微物镜传递函数测量装置,测量原理及测量结果。     

用快速傅立叶变换法标定相移干涉仪中的相移器

相移干涉测量是一种光学精密检测方法．相移器作为其中关键部件,它的性能直接影响计量精度．文中介绍了一种用于相移器标定的方法．该方法采用对连续采集的相移干涉图光强分布函数进行快速傅立叶变换,得到相邻两次位移差,即相移大小,以此来决定压电陶瓷的移动量．此方法标定精度（０．００５μｍ）满足了相移干涉测量的要求,操作简单、计算速度快,且易于实现实时标定处理．     

干涉图的自动采样与处理

描述了一个新研制的二维干涉图自动采样与处理的原理和由离散的采样数据进行波面拟合的数学模型,给出了一个干涉图自动采样与处理的实例。由于在该模型中利用了 Zernike 多项式系数协方差的增广矩阵,因而比用 Gram-Schmit 正交化法求 Zernike 多项式系数的方法更为简洁。所研制的干涉图自动采样与处理系统精度高,功能齐全,使用方便,适用于一般干涉图的事后处理。     

主动式相移干涉测试技术及其应用

在相移干涉测试技术中，相移量误差会直接影响干涉测试的精度，特别是在有振动和空气扰动的环境下很难得到正确的相移量，因而对干涉仪的使用条件要求较高．本文提出了一种主动式相移干涉测试技术，它在较差使用条件下也能自动给出正确的相移量并在这一瞬间自动采集干涉图像，文中叙述了这一技术的原理、实验结果及其在电子散斑干涉技术中的应用．