一种新型的表面深度测量系统

针对表面深度测量,设计了一种新型小型化检测系统,能够检测物体表面的深度信息。该系统硬件部分以激光线结构光作为光源,设计可调节光路,应用CMOS图像传感器采集图像。软件部分利用VC++设计应用软件,完成图像预处理、参数标定和求取深度参数。应用最小二乘法对系统进行全局多点标定,试验结果表明,全局多点标定的表面深度测量结果比以往的单点标定更加准确。     

气动量仪测量不确定度分析

为保证气动量仪量值传递的准确、可靠,需定期对气动量仪进行校准.本文根据JJG 396-2004<气动测量仪>,并以量块为标准器,对分度值为1μm的浮标式气动量仪校准不确定度进行了分析,给出了完整的不确定度评定过程,为气动量仪校准提供了完善的不确定度评定方法.     

MS-6BC型精密双面抛光机的研制

光电子信息产业的快速发展,要求蓝宝石、单晶硅等材料高效率、超光滑表面加工,精密双面抛光加工是得到这些材料超光滑表面的主要加工方法之一.本文介绍了新研制的MS-6BC型精密双面抛光机,介绍了其结构及其特点,并论述了双面抛光加工的主要工艺因素和过程.最后通过试验验证了MS-6BC型精密双面抛光机具有加工精度高,控制性能好的特点,适用于蓝宝石、单晶硅等人工晶片的超精密加工.