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191.
介绍一种外延沉积化合物半导体材料的新方法──电化学原子层外延技术,它将电化学沉积技术与原子层外延技术结合起来,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个单原子层而实现外延生长。从而使外延技术具有电沉积简单与低成本的优点。欠电势沉积是电化学原子层外延的关键,它是化合物形成过程中放出自由能的结果。并研究了Si-Au多晶衬底上沉积CdTe的电化学原子层外延,给出了初步实验结果。 相似文献
192.
193.
吴冲若 《真空科学与技术学报》1995,(2)
分析了微机电系统发展的可能性、必然性和对科学与经济发展的巨大意义。总结了发展微机电系统的若干主要的工艺技术。介绍了微机电系统当前的进展与发展前景。 相似文献
194.
195.
196.
197.
我国正处于“经济转型,社会转轨”的关键时期,传统与非传统的城市灾害事故日益频繁,重现周期日渐缩短,损失严重,教训深刻,城市防灾减灾综合能力倍受关注.本文根据我国大中城市灾害及其特点,针对近年来我国城市建设防灾规划的实施情况,指出在城市综合防灾水平建设方面的若干问题,并从体制、机制、法制角度出发,科学地提出防灾、减灾、救... 相似文献