晶圆制造物料运输系统性能分析建模方法

为在自动化物料搬运系统设计阶段快速有效地分析该系统的性能,提出一种扩展Markov模型的建模方法,该方法减少了自动化物料搬运系统性能分析模型的规模,避免了模型的状态空间规模爆炸.采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行测试,并与仿真分析方法比较.结果表明,扩展Markov模型与仿真模型在自动化物料搬运系统搬运量、运输小车利用率和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对误差值为96％,处于[-8％,10％]的区间范围;与仿真模型相比,扩展Markov模型的性能分析效率提高了600倍以上.由此验证了所提扩展Markov模型建模方法的有效性.     

盖板玻璃研磨设备预防性维护周期决策方法研究

基于传统的固定时间周期的盖板玻璃研磨设备预防性维护方法难以实现盖板玻璃生产线的高效运行。提出了一种基于模糊神经网络模型的盖板玻璃研磨设备预防性维护周期动态决策方法。通过企业运行数据验证表明,该方法对盖板玻璃研磨设备的预防性维护周期进行动态决策是可行的,对提高盖板玻璃研磨设备的利用率等具有重要意义。     

基于CNN-LSTM的晶圆良率预测

晶圆良率是衡量半导体制造系统加工能力的关键指标,对其精准预测有利于排查晶圆制程工艺缺陷、提高晶圆生产率、控制企业生产成本。基于晶圆允收测试(wafer acceptance test, WAT)大数据,提出了基于卷积神经网络和长短期记忆网络(convolutional neural networks and long short-term memory, CNN-LSTM)的晶圆良率预测方法。该方法对WAT数据进行缺失、异常与归一化预处理;构建CNN模型对复杂WAT参数的关键特征进行识别;考虑相邻晶圆间的时序相关性,设计长短期记忆网络进行回归分析,从而实现晶圆良率的准确预测。以某工厂晶圆允收测试过程中采集的实际生产数据进行实验,并与其他传统晶圆良率预测方法的结果进行对比分析,从而验证所提方法的有效性。     

无避让双层立体车库防坠落机构优化设计

随着经济的快速发展和汽车保有量的大量增加,无避让立体车库应运而生。针对无避让双层立体车库安全可靠性要求,运用ANSYS有限元分析软件对其关键零部件——防坠落机构进行静力学分析并校核其强度要求,结果验证了该机构设计的合理性和可行性,提高了无避让立体车库的安全性和稳定性。     

面向柔性制造车间的多目标RFID网络规划方法

针对具有多种覆盖需求的柔性制造车间RFID网络规划问题,以部署成本、阅读器干扰与阅读器效能为多优化目标,提出一种分层聚类、冗余消减与梯度下降方法集成的RFID网络规划方法,采用分层聚类算法确定RFID初始数量与部署位置,采用冗余阅读器消减算法优化RFID数量,采用梯度下降算法优化RFID部署位置从而实现网络规划多目标优化。实验研究表明,提出的方法在多目标综合性能方面优于传统基于分层聚类方法、遗传算法、粒子群与冗余消减混合方法的RFID网络规划方法,验证了该方法的有效性。     

一种混合智能的Interbay系统调度方法

为提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能,提出一种混合智能的Interbay系统调度方法。采用Takagi-Sugeno模糊逻辑方法对晶圆卡运输成本模型的参数权重进行自适应调节,用匈牙利方法对Interbay系统的运输小车和晶圆工件进行优化指派。实验结果表明,该方法在Interbay系统和晶圆加工系统的多目标综合性能方面优于传统方法。     

求解柔性作业车间调度的GATOC混合方法

柔性作业车间调度问题是经典作业车间调度问题的扩展,它允许工序在可选加工机器集中任意一台上加工,加工时间随加工机器不同而不同。针对柔性作业车间调度问题的特点,提出一种基于约束理论的局部搜索方法,对关键路径上的机器的负荷率进行比较,寻找瓶颈机器,以保证各机器之间的负荷平衡。为了克服传统遗传算法早熟和收敛慢的缺点,设计多种变异操作,增加种群多样性。为了更好保留每代中的优良解,设计了基于海明距离的精英解保留策略。运用提出的算法求解基准测试问题,验证了算法的可行性和有效性。     

基于相空间重构的半导体制造系统日产出预测

半导体制造系统的生产作业计划与调度优化困难、可行性较低的现状,对半导体制造系统的日产出预测提出了需求。在对预测研究现状进行分析的基础上,针对半导体制造系统的日产出时间序列体现的非线性的确定性而又类似随机的特点,提出一种基于混沌相空间重构的蚂蚁—神经网络模型的预测方法。混沌相空间重构理论用于日产出时间序列的重构;神经网络用于日产出预测模型的构建;蚂蚁算法用于神经网络预测模型的权值和阈值参数的训练。通过某企业的实际生产数据进行测试,并与传统的预测方法比较,证明了该预测方法的有效性。     

聚丙烯分离单元设备堵塞原因分析与操作优化

介绍了某聚丙烯装置在生产抗冲产品中因设备部分堵塞发生紧急停车现象,影响产品质量并导致生产了很多EPS30R过渡料,造成经济损失。分析表明,环管密度、气相反应器气相进料比以及挤压造粒的筒体温度是造成设备堵塞的主要原因。通过优化装置控制参数,延长进料时间、控制料液阀门开度、改进反应器吹扫方法、严格控制产品等规度给电子体和杀死催化剂活性剂的加入时间、保证进料平稳、控制反应压力和反应温度等手段,该聚丙烯装置运行平稳正常,未生产过渡料,运行周期提高了10d,年经济效益提高了128万元。     

影响光面爆破效果和空孔处能量分布的试验研究

为了研究不耦合系数和孔间距对光面爆破效果的影响,通过制作混凝土模型进行不同耦合系数和孔间距条件下的爆破试验,对爆后模型的根底残留和平整度进行分析,并利用有限元软件ANSYS/LS-DYNA对爆破损伤过程进行模拟。结果表明：在不耦合系数为2.67,孔间距8 cm时爆破效果最好;不耦合系数为2.00、2.67、3.33情况下的装药孔周围损伤面积之比为1.25∶1.14∶1;炮孔间距减少2 cm,在空孔处的压应力增加1.6倍,拉应力增加1.4倍,通过减少孔间距可以有效提高空孔的定向致裂作用。研究结果对工程应用具有较好的指导意义。