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采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上沉积铌掺杂氧化锌(NZO)透明导电薄膜。通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)以及透射光谱等测试研究了溅射功率对薄膜结构、形貌以及光电性能的影响。实验结果表明NZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向。溅射功率从40W增加到80W时,薄膜的电阻率迅速下降;功率超过80W时,电阻率趋于平稳。在溅射功率为100W时,电阻率具有最小值5.89×10-4Ω.cm,光学带隙具有最大值3.395eV。实验制备的NZO薄膜附着性能良好,在可见光范围内的平均透过率均超过86.6%。 相似文献
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1 前言 苏钢集团公司在“八五”期间围绕“调整产品结构,开发新产品,提高质量,降耗增益”的目标,在“七五”取得显著进步的基础上,逐步完成了从焦化到轧钢的全面工艺配套、改造、完善,形成年产钢、铁、材30万吨级生产 相似文献
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利用直流磁控溅射法成功地在室温玻璃衬底上制备出了电阻率低、透光率高的Mn-W共掺ZnO(ZMWO)透明导电薄膜。溅射功率在65-150 W之间变化。实验结果表明,溅射功率对ZMWO薄膜的晶化程度和电阻率有很大影响,而对其透光率和光学带隙影响不大。实验制备的ZMWO为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。考虑到薄膜的电学、光学性能及结晶质量,我们认为本实验中的最佳值溅射功率为90 W,在此功率下制备的ZMWO薄膜的电阻率具有最小值9.8×10-4Ωcm,其可见光透过率为89%。 相似文献
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振动射冲成槽地下连续墙在东部沿海地区的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
<正>沧州东部沿海地区素有九河下梢之称,河网纵横,渠道密布。近年,随着中上游拦蓄能力的提高,上游来水逐年减少,加之遭遇连年干旱,而工农生产需水量不断增加,水资源供需矛盾十分突出。为此,沧州市决定修建杨埕水库,引蓄外来水缓解水供需矛盾。 相似文献
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对苏钢集团自1995年到2005年10年间的节能措施进行了总结.通过对主要生产工序的能耗分析,研究了这些措施的节能效果.结果表明,主要生产工序的能耗是可以大幅降低的. 相似文献