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用改进曝光模型模拟厚胶显影轮廓 总被引:1,自引:0,他引:1
考虑厚胶曝光过程中非线性因素的影响及其显影特点,用一套随抗蚀剂厚度发生变化的曝光参数改进的Dill曝光模型,仿真厚层抗蚀剂光刻过程,并比较新曝光模型与原有Dill模型模拟的结果差异。模拟显示,用新曝光模型获得的厚抗蚀剂显影轮廓与实验结果吻合较好;并对厚胶光刻成像机理进行了讨论。通过分析正性厚层抗蚀剂AZ4562的显影轮廓,给出其显影线宽及边墙陡度随显影时间的变化规律,提出应以获得最大边墙陡度作为优化显影时间的思想。对厚度5μm和15μm的抗蚀剂,经计算,可获得良好的抗蚀剂浮雕轮廓的优化显影时间分别为98s和208s。 相似文献
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为反映多层冷弯薄壁型钢-钢板剪力墙结构在水平地震作用下的受力性能,分别对施工阶段及正常使用阶段的六层房屋足尺模型开展双向地震动输入的振动台试验,试验中考虑了8度多遇至8度罕遇等7个地震烈度(0.07g~0.40g)。通过对比其破坏特征、动力特性、位移和应变响应,研究非结构构件对整体结构抗震性能的影响并进行楼盖刚性判定和房屋扭转响应分析。研究结果表明:在水平地震作用下模型的主要破坏特征为轻质墙面板螺钉连接破坏;蒙皮普通墙体与钢板剪力墙共同抵抗水平剪力,提高了结构的抗震性能;随输入加速度峰值增大,结构的自振频率降低,位移响应及立柱应变提高;冷弯薄壁型钢梁-压型钢板覆水泥纤维板组合楼盖可判定为刚性楼盖;结构扭转响应较小;在8度多遇及8度罕遇地震作用下,结构最大层间位移角分别为1/505、1/100,满足规范规定的弹性及弹塑性层间位移角限值1/250及1/50的限值要求,多层冷弯薄壁型钢-钢板剪力墙结构具有良好的变形能力和抗震性能。 相似文献
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房地产业发展的方兴未艾.带动整个装修材料市场需求的快速发展。其中装饰涂料的市场需求量连年上升.但是产品的总体质量有下降的趋势。近年来不断在媒体上看到因室内装饰产品引发过敏症状及遗传疾病的报道.质量无保证产品的存在给消费者在选择和使用产品时造成极大的障 相似文献
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本文从分析未成人的行为特点及心理特征入手,借鉴先进地区的发展模式,打破传统服务理念,提出设想,培养未成年人的早期阅读习惯,促进其健康成长。 相似文献
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遥测通信站化学电源的正确使用和维护 总被引:1,自引:0,他引:1
水情自动测报系统中的遥测通信站平时无人值守,通信系统的供电方式一般是由太阳能电池和化学电池组成供电系统,白天由太阳能电池给化学电池充电,并由化学电池给设备供电,晚上由化学电池单独给设备供电,如图1所示。在化学电源选型时,一般采用阀控式铅酸蓄电池,该类电池被称为免维护电池,实际上只是不需要补加水或电解液而已,为使电解液减少损耗,对使用环境和使用方法都有严格的要求。 相似文献
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