采用移相掩模技术制作深亚微米“T”型栅

介绍了在GaAs器件制作中,如何提高光刻细线条加工能力、制作深亚微米"T"型栅的工艺技术。该技术采用投影光刻和负性化学放大光刻胶,制作出0.18μm的"T"型栅GaAs PHEMT器件,栅光刻工艺采用了分辨率增强移相掩模技术。根据曝光工具简单介绍了当前GaAs器件中"T"型栅主要制作方法,讨论了"T"型栅制作中所使用的移相掩模原理以及该技术应用于GaAs器件制作的优势,并介绍了工艺制作过程。给出了所制作的"T"型栅扫描电镜剖面照片,并进一步试验、讨论和分析了采用该种移相掩模版进行光刻时所遇到的主要困难及解决方向。     

基于旧城保护的复兴策略研究

旧城的保护不能脱离经济的发展与城市的复兴.基于旧城保护与复兴的原理,结合旧城复兴的实际案例,从空间、文化、经济三个层次提出了旧城复兴策略,并归纳出旧城的复兴要尊重城市的历史,旧城的保护要以城市的再发展为立足点,基于旧城保护的复兴,其根本特色就是凸显以空间整合为路径、历史人文为本位、以经济发展为杠杆的城市改造思路.     

植物保留在城市景观设计中的应用

随着社会的飞速发展以及城乡一体化的快速进程,城市中许多公共空间如城市公园、公共绿地、商业区、道路等都已经不能满足使用或规划的要求,于是如何改造这些公共空间已成为城市区域发展中不可回避的问题,同时也是区域功能完善以及区域形象提升的重要问题。这些大量的改造项目为植物保留创造了土壤,而如何对待场地中原有的植物以及对原有植物的应用是否合理．都直接影响着城市景观工程的质量及植物功能的发挥。     

深化应用海拉瓦技术,辅助实现电网工程全过程信息化建设及管理

本文描述了海拉瓦技术在电网建设过程中的应用。通过该技术的深化研究,辅助实现电网工程建设全过程信息化建设及管理。本文就海拉瓦技术在电网工程建设各阶段的应用方式、内容、流程、范围、深度等进行了探讨和研究,通过建立贯穿电网建设全过程的海拉瓦技术深化应用流程和工作体系,进一步提升电网建设水平。     

以人为本 构建和谐企业

构建和谐社会的目标，集中体现了人民的愿望，时代的要求，企业作为经济社会的细胞，和谐企业是和谐社会的重要组成部分。发展要以和谐、稳定的环境为基础，国家如此，企业也不例外。加强和谐企业建设，关键的环节就是落实以人为本的方针，促进劳动关系之间的和谐。文章对如何树立正确的管理观，坚持以人为本构建和谐企业进行了分析。     

车辆碾压作用下输气管道安全埋深及防护措施

当采用路基工作区深度作为管道的安全管顶埋深时,安全裕量过大,过于保守。管道水平方向最大变形量先随管顶埋深的增大而减小,而后缓慢变大,但增幅不大。所以,根据管道水平方向最大变形量最小来确定管道安全埋深,较路基工作区深度更为合理。当管道管顶埋深小于安全管顶埋深时,应根据管径、壁厚、埋深、车辆参数、地面是否沉降等情况综合考虑,对管道进行受力分析或采用数值模拟等方法进一步判断管道是否安全,并采取合理的防护措施。     

《计量技术》杂志欢迎大家踊跃投稿

由于玻璃浮计种类繁多,在使用中影响因素较多,使用单位在选用时存在一定困难,本文将根据工作实践经验,介绍玻璃浮计选择方法和正确使用方法.     

ZTS晶体缺陷的实时AFM观测

利用原子力显微镜(AFM)对硫脲硫酸锌(ZTS)(100)面的生长过程进行实时观测研究,发现晶体表面凹陷及杂质对台阶推移的阻碍作用均有可能导致凹坑的出现;大台阶对凹坑和杂质的覆盖是包裹体产生的重要原因。首次观察到杂质分界点现象,不可移动杂质的存在不会终止台阶的推移。     

水电解制氢三相界面构筑研究进展

随着全球范围内碳中和目标的提出,水电解制氢已成为能源化学及催化科学领域的重点研究方向之一。气-固-液三相界面模型是物理化学中的基本概念,已被越来越多地应用于水电解制氢研究中,并逐渐成为研究重点。综述了水电解制氢三相界面的研究进展,在三相界面电解水的原理及其电化学反应动力学探究与讨论的基础上,对新型三相界面构筑从组分调控到界面的微观结构设计进行了系统分析,并结合当前水电解制氢领域存在的问题与挑战,展望了水电解三相界面研究的发展方向。