热激励硅谐振式压力传感器的研制

介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术，设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器，给出了制作的工艺过程和参数，测试了传感器在真空中开环状态下的谐振频率一压力特性及幅频特性，其灵敏度达到54．89Hz／kPa，Q值大于20000，0～300kPa范围内线性相关系数为0．9997。     

用表面等离子体谐振（SPR）测量物质的折射率

本文介绍一种用表面等离子体谐振间接测量物质折射率的新方法。从理论上对这种方法作了论证,运用这种方法对ＬＢ膜做了测试实验,推算出其折射率,并且分析了这种方法适用特点。     

光纤型微流控电泳芯片的研制

介绍了一种光纤型微流控电泳芯片,该芯片主要由两部分组成:多模光纤,PDMS基片和盖片.利用二次曝光技术制作出芯片的模具;通过浇注的方法制成电泳芯片;实现了在PDMS上制作深度不同的微流控沟道和光纤沟道,使光纤与微流控沟道能够方便地对准;利用异硫氰酸酯荧光素考察了系统的性能,最小检测浓度达到1.3×10-7mol/L,信噪比S/N=5.     

微结构谐振梁式压力传感器研究

利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器,传感器的谐振器的品质因素Ｑ值大于１７０００。采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性,其压力测试范围为０￣４００ｋＰａ,线性相关系数为０．９９９９５,测试精度小于０。０６％Ｆ．Ｓ。     

无阀压电微泵的动态特性研究

微泵作为微流控系统中的核心控制元件已成为MEMS研究的热点，现主要研究了无阀式压电微泵的工作原理及其动态工作特性。实验表明，无阀压电微泵的流速随频率呈抛物线关系变化，最佳工作频率为1250Hz。在频率固定时，微泵流速随驱动电压的升高而增加。泵膜的厚度对于微泵的性能影响很大，相同条件下，较薄的泵膜具有更高的流速，且泵膜越薄，其性能对于频率的变化越敏感。电压为50V时，微泵最大流量可达1．695μL/min。总体看来，无阀压电微泵结构简单，驱动电压较低，性能稳定可靠。     

基于MEMS技术的PCR生物芯片的研究

聚合酶链式反应 (PCR)技术已在分子生物学、基因测序、医学诊断等方面得到广泛的应用。基于MEMS技术研制了微结构的集成PCR -DNA分子扩增生物芯片 ,芯片集成了加热子、温度传感器、反应室、进样通道等 ;还介绍了芯片的设计、制作、温度循环特性。     

剪式压电微喷的设计及分析

利用压电陶瓷的厚度切变振动,设计出一种新型微喷。介绍了它的结构、工作方式及驱动方法。用弹性薄板模型对微喷进行理论分析,推导出振动位移函数,估算了自由振动基频和受迫振动端部位移。用有限元软件模拟振动模态,其模拟结果与理论计算接近。使用微电子及微电子机械系统(MEMS)工艺,在国内首次制备出该类型微喷,加载驱动波形后达到喷射效果。     

接触式悬臂梁RF-MEMS开关的研制与数值模拟分析

研究了一种直接接触悬臂梁式RF-MEMS开关,悬臂梁采用Al金属材料.开关通过静电控制,且与信号通道分离.为了优化材料结构和获得好的性能,进行了有限元ANSYS模拟.采用表面微加工工艺来制作开关,获得满意结果.器件的驱动电压为12V,与ANSYS模拟结果11V基本相符;器件的隔离度,在0.05～10GHz的范围内,实验测试与HFSS模拟的结果基本一致,都优于-20dB;器件的插入损耗,HFSS模拟小于-0.2dB,而实验测试小于-0.9dB,偏高是由于悬臂梁表面不平,导致接触电阻增大,在测试中引入接触阻抗所致.     

无机及有机高分子材料的热电特性测量

为了发展无污染的热电转换清洁能源,近年来国内外加速对无机和有机热电材料的研究,而对于高阻值无机和有机热电材料的宽温区热电转换性能测试方面,目前很多研究学者仍遇到一些困难。本文论述了最新研制的一种高阻值、宽温区塞贝克系数测量系统,该系统设计制造了具有高真空度和多重电磁屏蔽的真空测试环境,一个高稳定度、高精度的温差控制平台以及在高阻条件下的微弱电压信号检测的电路系统,从而为无机、有机高分子材料薄膜或块状样品提供一种准确、稳定、精度高?操作方便、快速的测量装置,实现温度从低温 80Ｋ到高温大于500Ｋ的宽温区范国内连续变化,可准确测量超高电阻>1012Ω的材料的塞贝克系数。     

微全分析系统中的MEMS技术

微全分析系统（μTAS）的研究和应用,近年来有了巨大发展。本文将着重叙述基于MEMS技术的μTAS的研究和发展,扼要介绍设计,制造μTAS的一些新技术,新材料和新方法,以及我们在研制μTAS方面的一些进展。