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111.
数控加工中心的位置误差补偿模型 总被引:9,自引:1,他引:8
本文以三轴数控加工中心为例,利用齐次矩阵建立了完备的数控加工中心的位置误差补偿模型,利用本文方法可以对三轴以上的多轴数控加工中心的位置误差进行建模,本文的建模方法和结论可以应用到三坐标测量机、工业机器人的位置误差模型的建立和位置误差补偿中去,以便在不增加制造成本的情况下,提高加工精度或测量精度,实现“不使用精密设备的精密加工”。 相似文献
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硅微机械音叉式谐振器 总被引:3,自引:0,他引:3
应用体硅微机械加工技术,制作了一种双端固定音叉式谐振器。它在音叉的两个臂上连接了梳齿电容结构,用来驱动音叉臂在硅片平面内侧向、反相振动,同时检测音叉的振动频率。当驱动力的频率等于音叉的固有频率时,音叉产生谐振。此时,检测梳齿电容输出的电流最大。用有限元方法对谐振器进行了模态分析和结构优化。音叉臂长800μm,宽5μm,梳齿电容齿长25μm,结构层厚度为80μm,在30V交流电压激励下,测得其谐振频率为25kHz。当音叉受到轴向力的作用时,音叉的固有频率会发生变化,根据这一原理,设计了谐振式加速度计。用有限元分析软件对加速度计工作情况仿真,估算其灵敏度约为2Hz/g。这种音叉式谐振器结构和工艺简单,性能可靠,成本较低,对于进一步研究微机电系统谐振器件具有重要意义。 相似文献
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研究了三坐标测量机垂直度误差的快速检测方法,根据三坐标测量机空间误差与几何误差的关系,使用Renishaw检查规则量XY、YZ、XZ平面内特定圆周上各点的空间误差,可快速获得垂直度误差。 相似文献