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坐标测量技术发展方向 总被引:8,自引:0,他引:8
论述了坐标测量技术的历史地位和需要解决的问题。讨论了智能三坐标测量机的工作原理和关键技术。分析了柱坐标测量机、球坐标测量机、关节臂测量机、光笔式测量机、三角法测量系统、多边测量系统等非正交三坐标测量系统的特色;论述了非接触测头,特别是共焦式测头在坐标测量中的应用前景。介绍了国内外纳米测量机的研究现状。 相似文献
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高精度激光干涉测量中环境误差因素的综合补偿 总被引:2,自引:1,他引:1
分析了高精度激光干涉测量中环境误差因素对测量的影响,针对不同情况,提出了两种对空气折射率进行实时误差补偿的方法。 相似文献
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新型谐振式硅微机械加速度计 总被引:6,自引:0,他引:6
制作出一种新型结构的谐振式硅微加速度计,其输出频率信号可以克服微机电系统器件输出微弱信号检测的困难、采用双端固定音叉作为谐振器,在加速度作用下,质量块的惯性力通过悬臂梁施加于音叉轴向,利用音叉谐振频率的变化测量加速度.在每个音叉臂上制作了梳齿结构,用梳齿间的静电力激励音叉产生谐振,并利用其构成的电容检测其振动频率.该加速度计采用体硅工艺制作,文中给出了工艺流程、用有限元方法仿真估算,得到传感器的灵敏度约为2/gHz. 相似文献
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75-00型复合式可消毒pH传感系统由复合式可消毒pH玻璃电极和具有压力补偿的不锈钢护套二部分构成,其中玻璃电极由吹制成圆柱形的pH敏感膜、Ag/Agcl内外参比电极、内外参比溶液和多孔陶瓷隔膜等构成。圆柱形pH敏感玻璃膜厚度为0.4~0.5mm,耐磨,机械强度高,耐化学腐蚀,内参比溶液高温稳定。可根据科学研究和发酵工业的实际需要制成形态各异的电极形式。在120~130℃高温下,于发酵罐内经过30次热压消毒,电极的零电位(E_O)漂移近20mV。电阻从200MΩ升到近500MΩ,理论转换系数>96%,响应时间<2min。pH响应范围为0~14,护套耐化学侵蚀,气密性好。 相似文献
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