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用MEMS微加工方法,以具有90~100nm孔柱的A12O3膜为基板,设计并制作了具有Φ0.2mm微孔通道的气体传感器芯片,并通过真空镀膜方法把CuCl2杂化修饰的CuPc蒸镀成气敏膜,以微壳封装方法制成微结构传感器,实现了主动吸气的检测模式,提高了响应时间和气敏性.通过SEM观察,可见良好的膜表面形貌和尺寸:Al2O3膜基板厚度为0.25mm,侧面为柱状紧密体,表面呈现90~100 nm纳米孔活性态;用做电极和加热器的Pt膜的厚度为500nm,柱状密排;敏感膜厚为150nm,连续规整;微壳深度为150~200μm.测试结果表明,传感器对液氯蒸气具有较好的气敏性,其灵敏度为0.01%Cl2浓度下的5倍以上,响应时间小于30s,并呈现N型半导体的变化规律.分析了改变通气状态和加热电压等条件时对传感器气敏性的影响,探讨了CuPc有机半导体的气敏机理. 相似文献
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基于催化燃烧式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al_2O_3膜加工成微双桥结构载体,采用平面薄膜工艺制做铂薄膜热敏电阻,涂敷Al_2O_3-ZrO-Th0-Pd和Al_2O_3-ZrO-Th0形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,实现在微双桥上催化桥臂和补偿桥臂的单片集成,制作出氢气传感器.测试结果表明:传感器可实现体积分数0~40 000×10-6氢气检测,具有线性输出特性,温度为5~45 ℃的传感器的最大零点输出优于±1.0%. 相似文献
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以MSP430F149单片机为核心,研制了1台应用于燃气泄漏检测的CO-CH4气体变送器,实现对应CO气体0~200×10-6、CH4气体0~5 000×10-6的0~3 V线性电压输出,分辨率分别为20×10-6和500×10-6.详细叙述了气体传感器的采样时序产生电路,放大电路以及线性化模拟电压的输出方法. 相似文献
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预弯曲动力学防斜快钻技术的试验研究 总被引:5,自引:0,他引:5
预弯曲动力学防斜打快钻井技术主要利用预弯曲动力学防斜打快钻具组合在井眼中的涡动特征,在钻头上形成一个远大于钟摆降斜力的防斜力,从而使井眼保持垂直。预弯曲动力学防斜打快钻具组合是一种带预弯曲结构的特种钻具组合,钻进时,其在井眼内形成特定的涡动轨迹,引起钻具组合以较大的不平衡几率向下井壁方向振动,从而实现向下井壁的冲击力。常规钟摆和满眼钻具组合的工作原理都是力求钻具组合发生尽可能小的变形,减小钻具组合因变形引起的增斜力。预弯曲动力学防斜打快钻具组合在胜利油田史138-6井进行的试验表明,这种方法具有很好的防斜打快效果。与邻井常规钟摆钻具组合相比,这种钻具组合的钻压提高50%以上,机械钻速则提高120%。文中给出了钻压和转速对预弯曲动力学防斜打快钻具组合防斜力的影响规律。 相似文献
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多孔陶瓷湿度传感器最新研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
本文以金属氧化物烧结体为中心,论述多孔陶瓷湿度传感器几何学因素,细孔表面状态和感湿特性之间的有关系及其最新研究成果,湿敏元件是根据大气湿度极大地影响着多孔陶瓷元件电阻的特性。利用陶瓷工艺技术制成,其灵敏度是由细孔结构、表面积以及化学成份决定的。当酸离子占有的表面积远大于0.1nm^2时,在90%RH湿度以下,有效电阻由表面积和细孔的结构决定。当酸离子占有的表面积小于0.1nm^2时,湿度大于40%RH,电阻随酸离子在表面上相互集中的比率增大而减小,采用碱离子来替换细孔表面的酸离子是一种很好的改善湿敏元件灵敏度和稳定性的方法,在较低的湿度领域下,可用超离子导体和铁电体替换金属氧化物陶瓷的方法,来降低电阻。 相似文献
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漳卫新河位于冀鲁交界,河口段为辛集挡潮蓄水闸至入海口,全长37 km。长期以来,由于管理范围不清、治理开发目标不明确、开发建设与河口治理保护不协调等原因影响,造成河口地区违章建筑的形成。分析违章建筑形成的原因,并提出处理河口违章建筑的建议,以期对河道管理部门起到借鉴作用。 相似文献
70.
目的:探讨β2-受体激动剂班布特罗(bambuterol)对哮喘豚鼠支气管肺泡灌洗液(BALF) 淋巴细胞核因子-κB (NF-κB) 表达的影响。方法:用卵白蛋白(ovalbumin, OA) 建立豚鼠哮喘模型, BALF 分离淋巴细胞, 采用免疫组化染色方法观察淋巴细胞NF-κB 表达, 酶联免疫吸附(ELISA) 法测定淋巴细胞胞浆IκB 含量及BALF 中白细胞介素-10(IL-10) 水平。结果:与模型组相比, 班布特罗可显著增加BALF 中IL-10 水平及淋巴细胞胞浆IκB 含量(P <0.05), 降低NF-κB 胞核阳性细胞百分比(P <0.05), 而且这一作用可被β2-受体阻断剂普奈洛尔拮抗;但IκB 含量及IL-10 水平仍低于正常对照组(P <0.05), NF-κB 胞核阳性细胞百分比仍高于正常对照组(P <0.05) 。Pearson 相关分析显示NF-κB 与IL-10 之间呈明显负相关关系(r =-0.570, P <0.01) 。结论:班布特罗通过抑制IκB 降解和增加IL-10 水平, 从而抑制淋巴细胞NF-κB 表达, 这可能是其抑制哮喘气道慢性炎症的机制之一。 相似文献