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151.
张红伟 《半导体技术》2015,40(3):205-210
氮氧化技术是45 nm及以下技术节点栅介质制备的关键工艺,严格控制由氮氧化工艺所诱发的界面缺陷是提高栅介质质量的重点.研究了形成栅介质氧化层缺失缺陷的原因,并提出了解决方案.结果表明,原位水蒸气生成(ISSG)热氧化形成栅介质氧化层后的实时高温纯惰性氮化热处理工艺是形成栅介质氧化层缺失缺陷的主要原因;在实时高温纯惰性氮化热处理工艺中引入适量的O2,可以消除栅介质氧化层的缺失缺陷.数据表明,引入适量O2后,栅介质氧化层的界面陷阱密度(Dit)和界面总电荷密度(ΔQtot)分别减少了12.5%和26.1%;pMOS器件负偏压不稳定性(NBTI)测试中0.1%样品失效时间(t0.1%)和50%样品失效时间(t50%)分别提高了18%和39%;32 MB静态随机存储器(SRAM)在正常工作电压和最小工作电压分别提高了9%和13%左右.  相似文献   
152.
153.
基于PIC18F4685的电池模拟信号源设计   总被引:1,自引:0,他引:1  
曾洁  张红伟  马园 《电池工业》2013,18(1):25-28
电池技术是新能源汽车发展的关键技术之一,电池在应用中必须配备电池管理系统.本文针对已研制的电池管理系统,开发了一套以PIC18F4685微控制器为核心的用以检测电池管理系统的电池模拟信号源装置,目的在于为电池管理系统提供电池的各种工况模拟参数,以实现对电池管理系统的有效测试和评估.该模拟装置根据标定指令控制数字电位器X9C104输出相应电压、电流模拟信号,而通过调控白炽灯产生温度场,实验结果表明所开发的装置基本满足了电池管理系统测试的需要,具有良好的实时性能与稳定性能.  相似文献   
154.
砖砌体的质量直接影响建筑物的安全度和使用功能。据统计,倒塌事故有31.8%是因砖砌体质量低劣所造成的。导致砖砌体质量下降的因素很多,主要是如下一些。  相似文献   
155.
通过数学物理模拟方法研究了三流中间包在不同控流装置下的流体流动特性,并采用平均停留时间作为特征参数对多流中间包流体流动性进行评价.数值模拟结果表明:设置多孔挡墙后,中间包流体流动特征为流体通过多次循环流动到达导向孔,而后通过多次循环流动到达中间包出口.水模型实验表明:设置多孔挡墙后,三流的平均停留时间的平均值由305 s增加到573 s,增加了87.9%;而三流的平均停留时间的最大差异则由15.1%下降到11.3%.  相似文献   
156.
原始组织对25MnV钢"零保温"淬火后组织性能的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用正交组合回归设计试验方法,分别以淬火和热轧为预处理工艺,研究了不同原始组织条件下25MnV钢"零保温"淬火后的强度和硬度,并进行了组织分析.试验表明,经2次淬火,该钢得到极细的板条状马氏体组织,具有很高的强硬性,其性能优于热轧态"零保温"淬火.在较低温度"零保温"淬火时,原始组织对25MnV钢的强硬性影响显著,随淬火温度升高,其影响逐步减弱.通过低温"零保温"奥氏体逆相变淬火,可显著提高该钢的力学性能.  相似文献   
157.
传统的基于非均匀有理B样条(NURBS)曲面建模的物理光学结合矩量法(MoM-PO),采用迭代电压矩阵实现MoM-PO混合过程可能存在迭代收敛性问题.针对该问题,采用修改阻抗矩阵实现MoM-PO混合过程,避免了潜在的迭代收敛性问题.采用Ludwig积分结合驻相法(SPM)计算Bezier曲面上物理光学电流的积分,既克服了传统方法中天线距离散射体较近时的算法失效,又维持了算法的效率优势.数值结果与MoM和三角形MoM-PO方法进行对比,证明了该方法的有效性.  相似文献   
158.
在考虑阻尼和刚度的前提下,建立了路面不平度影响下的解放CA6440G2汽车悬架振动系统模型及微分方程表达式.通过拉氏变换和线性系统理论给出了求系统固有频率的方法并得出了微分方程的解析解,该解离散精度好,可直接应用于控制和仿真模拟.这种解法与计算过程完善了解放CA6440G2汽车悬架动载荷的表达式,为悬架的有限元动态分析与设计提供了载荷方面的准备.  相似文献   
159.
为了选择正确的微观溶质偏析模型研究铁碳合金的凝固过程,利用Thermo-Calc商业软件计算了不同碳含量下铁碳合金的固相线温度、液相线温度和碳的平衡分配系数,利用数值方法研究了不同微观溶质偏析模型下铁碳合金的固液界面温度和无量纲液相溶质浓度.数值结果表明:文献中常用的碳平衡分配系数不准确;C lyne-Kurz模型和Sche il模型不能准确地预测固液界面温度,B rody-F lem ings模型不能正确地预测碳偏析,建议采用杠杆模型和大中逸雄模型计算铁碳合金凝固过程的微观溶质偏析.  相似文献   
160.
着重阐述了GR-11胍胶压裂基液配制工艺的设计原因、过程及设计后的效果并对配液行业的发展方向进行了展望.  相似文献   
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