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一种新结构硅微机械压阻加速度计 总被引:3,自引:3,他引:3
设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计.器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形.比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率.微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压.力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号.5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994 Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍.加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺. 相似文献
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城市节点空间在旧城改造的过程中被重新规划设计是十分必要的,他所起到的作用远比那一小块地原来的作用要大得多。如果城市也有呼吸的话,那旧城区几乎就快要窒息了,开辟适当的节点空间就是增加“呼”的过程,让城市有喘息的机会,但就现状来看,我们的城市似乎“呼”得并不那么自然顺畅,有很多的问题有待解决。 相似文献
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基于.NET的实时数据线绘制 总被引:1,自引:0,他引:1
实时数据线的绘制常用于显示计算机监控系统所监控对象的运行参数。介绍了绘图所使用的坐标系,并实现了坐标的变换,介绍了系统颜色、Pen类和Graphics类,以及绘制直线的方法,给出了一个模拟的绘制实时数据线的实例。 相似文献
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张鲲 《制冷与空调(四川)》2014,(6):702-705
地铁换乘车站作为地铁线网的结点需具备两个以上车站的功能,如何对车站通风空调系统进行有效的整合和共享而又尽量规避建设时序不同带来的不确定性风险,成为影响地铁换乘车站通风空调系统规模的关键。从隧道通风系统、车站大系统、小系统、水系统几个方面,对不同换乘形式车站的系统共享、预留、工程实施以及运营方式进行了分析研究,提出其通风空调系统的设计原则、共享方案、运行方式。 相似文献
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设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺。陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测。主梁、微梁 质量块结构实现了高灵敏度。比较硬的主梁提供了一定的机械强度,并且提供了高共振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻应变计就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5V条件下,陀螺检测部分的理论灵敏度达到27.45mV/gn。压阻式四端器件用来监测驱动振幅,可以反馈补偿压阻的温度系数。检测模态的Q值达260使陀螺能在大气下工作。陀螺利用普通的n型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。 相似文献
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基于Visual Basic 2008工具,实现了数据包的综合校验与生成,包括累加和、异或、循环冗余和累加求补以及结尾码的处理,而且,为了数据处理更加方便,输入输出采用16进制字符串替代字节。在数据发送时,所有数据包以字节传送。这些技术可以直接应用于通信领域和相关的工程项目。 相似文献