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91.
提出了一种用于MEMS器件真空密封的电阻熔焊方法.低泄漏率是MEMS器件真空密封的关键因素之一.通过研制的真空电阻熔焊机,设计带缓冲腔的封蓑外壳,实现了MEMS器件真空密封.试验结果表明,封装好的器件具有长时间真空保持性.  相似文献   
92.
根据大量的文献综述分析了客户机/服务器结构、环境、数据库管理系统,应用开发工具和GUI以及客户机/服务器的发展动态及前景,这对于接受这种新的结构设计、开发应用客户机/服务器的读者是有所帮助的。  相似文献   
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