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SMW工法在深基坑围护施工中的质量控制 总被引:1,自引:0,他引:1
SMW工法用作6-10m深基坑围护结构的技术较为成熟,但在超10m深度,且为软弱地基的条件下,施工质量难以控制。为此,根据施工实践,从工艺、进度、投资和成本的角度对SMW工法质量控制的关键点进行了总结。 相似文献
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本文研究了H_2还原WF_6在α-Si/TiN/Al和TiW/Al衬底上LPCVD生长钨膜的特性。测量和分析了Al/W/TiN/Al和Al/W/TiW/Al结构的接触电阻和界面特性,研究了两种结构的热稳定性。结果表明,H_2还原WF_6可以在α-Si/TiN/Al和TiW/Al衬底上实现选择性钨淀积,钨膜质量较好。Al/W/TiN/Al和Al/W/TiW/Al结构接触电阻率为10~(-?)Ωcm~2量级,远低于难熔金属硅化物同硅的欧姆接触电阻率。两种结构的热稳定性良好。采用TiN或TiW作为Al和W之间的隔离层,CVD-W填充互连层连通孔可以满足多层金属平坦化互连技术的要求。 相似文献
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在巷道掘进中,如何提高打眼速度,对縮短整个凿岩作业的循环时間和加快掘进速度,都有重要的作用。現就打眼操作和提高打眼速度的問題,談談个人的一些看法。一、打眼操作方法炮眼打得快慢,除了和打眼机具、岩石性质有关外,操作方法恰当与否也有重要关系。一般在操作上应注意以下几点: 1.打眼之前,可先打开风机吹吹风管,然后再接 相似文献