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991.
硅单晶片的SiO_2抛光 总被引:3,自引:0,他引:3
本世纪六十年代中期前半导体基片抛光还大都沿用机械抛光,例如氧化镁、氧化锆、纯氧化铬等方法,得到的镜面表面损伤是极其严重的.1965年Walsh和Herzog提出SiO_2溶胶(Silica sol)和凝胶(Silica gel)抛光后,以二氧化硅为代表的化学机械抛光工艺就逐渐代替旧方法,目前国外最先进的硅片生产线均使用二氧化硅抛光方法.二硅化硅溶胶或凝胶抛光液的基本形式是由一个SiO_2抛光剂和一个碱性组份水溶液组成.SiO_2颗粒要求范围为10~150毫微米,碱性组成一般使用NaOH、氨或有机胺,pH值为9.5~11.0.SiO_2浓度为1.5%~50%. 相似文献
992.
当突然暴发洪水时,人们不可能把沙袋之类的惯用障碍物放入适当的位置,则沿河一带的居民可能难以及时保护自己。退休的航天工程师达尔克说,当遇到这种情况时,为什么不采用他的泥浆软管或充水软管的抗洪方法呢。这位工程师声称,使用他的这个方法,可以在比较短的时间内抵御洪水的猛涨。他设计的软管是用塑料或结实的防水织物制成。如用泥浆充填软管,可长时间地形成任一长度的障碍物来进行抗洪;如用水充填,则只能短时间的进 相似文献
993.
994.
输气管道压缩机站的控制必须精确而可靠,这是由于压缩机站可能长期处于无人管理的工作状态。因此,利用远程通信微波线路的远距离压缩机站最好选择可编程控制器(PC)作为主要的控制装量。使用可编程控制器可以减少维修时间,停机时间,以及减少现场接线变化和故障。例如,某一压缩机站的故障可以由装在控制室中的 CRT 终端准确指出,甚至也可以由 相似文献
995.
本文对高放废物氧化物包容量为20wt%(含0.131mol/lSO_4~(2-))的GP-12/9B和GP-12/7B两种模拟高放玻璃固化体进行了ISO和MCC-1静态浸泡试验与Soxhlet动态浸泡试验,测定了元素浸出率和质量损失,研究了浸出率与浸泡温度和时间的关系。 相似文献
996.
<正> 特殊结构材料是“第四次产业革命”的内容之一。利用钛的记忆功能、超导功能,吸氢功能将会发挥很大的作用。记忆功能:指的是TiNi合金在一定温度下,能够恢复它原来的本领,这种材料称为记忆合金。利用记忆功能可以制成自动张开的卫星天线,航空用记忆铆钉,飞机或船舶用油管的接头,各种电子元件;利用它在热水和冷水中可以曲、张动作,制成转动机械,把热能变成机械能或电能。而TiNi热机所利用的热能是“低值热能”,所以TiNi合金有可能成为有价值的热源材料。 相似文献
997.
998.
论述了旨在进一步提高军用机械设计水平的三个重要方面,即系统设计,精巧机械设计及模块化设计,特别强调系统设计的重要性。 相似文献
999.
米哈伊洛夫采选公司研制成功一种输电线路电柱的搬运装置。在露天矿进行大爆破时,拆除和安装移动式输电线路是一项极其繁重的工作。为此,一些矿山企业使用在K-700型拖拉机的基础上改装而成的电柱搬运机。这种搬运机包含有叉式起重机和安装在刚性回转框架上的液压夹紧器。这类电柱搬运机只能用来搬运已组装好的输电线路电柱。米哈伊洛夫采选公司研制并推广使用的 相似文献
1000.